[发明专利]一种用于钽电容器的有序孔阵列阳极钽箔及其制备方法在审
| 申请号： | 201710104154.9 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN106910635A | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 王振洋;张淑东;李年;张忠平;赵婷婷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01G9/048 | 分类号： | H01G9/048;H01G9/15 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司34101 | 代理人： | 卢敏,何梅生 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 钽电容 有序 阵列 阳极 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于钽电容器的有序孔阵列阳极钽箔，其特征在于：包括片状结构的钽片层，在所述钽片层的至少一个表面一体化形成有有序孔阵列。
2.根据权利要求1所述的有序孔阵列阳极钽箔，其特征在于：所述有序孔阵列的面积小于或等于钽片层的表面积。
3.根据权利要求1所述的有序孔阵列阳极钽箔，其特征在于：所述钽片层的厚度为5μm～2mm。
4.根据权利要求1所述的有序孔阵列阳极钽箔，其特征在于：所述有序孔阵列中各孔的深度为1μm～50μm，孔直径为10～80μm。
5.一种权利要求1～4中任意一项所述的有序孔阵列阳极钽箔的制备方法，其特征在于：取钽片，用酒精清洗去除钽片表面的油污和灰尘；然后将钽片放在光学平台上，并用夹具定位、夹紧；最后调整激光器参数和光斑直径，控制激光束对钽片表面进行点扫描处理，即在钽片层表面一体化形成有序孔阵列。
6.根据权利要求5所述的有序孔阵列阳极钽箔的制备方法，其特征在于：对钽片表面进行点扫描处理时，调整所述激光器的能量范围为20～30w、扫描速度范围为500～1000mm/s、光斑直径为30～80μm、点间距30-100μm。
7.根据权利要求5或6所述的有序孔阵列阳极钽箔的制备方法，其特征在于：对钽片表面进行点扫描处理的处理区域为任意形状。
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