[发明专利]一种分辨率可调的微量气体流量计

权利要求书

1.一种分辨率可调的微量气体流量计，其特征在于：包括电磁阀体(3)、U型管体(7)和微机，所述U型管体(7)内装有不溶解待测气体的溶液，所述电磁阀体(3)上设有电磁阀进气口(2)、电磁阀出气口(4)和电磁阀排气口(13)，所述电磁阀出气口(4)通过导管(5)与U型管体进气口(6)连接，所述U型管体进气口(6)端侧壁上设置有液面检测机构，所述液面检测机构位于U型管体(7)内溶液初始液面下方，所述U型管体出气口(19)端侧壁上设置有气泡计量机构，所述U型管体(7)底端内部设置有气泡产生口(14)，所述电磁阀体(3)、液面检测机构和气泡计量器均与微机电连接。

2.如权利要求1所述的分辨率可调的微量气体流量计，其特征在于：还包括气体缓冲室(1)，所述气体缓冲室(1)的出气口连接电磁阀进气口(2)。

3.如权利要求1所述的分辨率可调的微量气体流量计，其特征在于：所述液面检测机构为相对设置在U型管体(7)侧壁上的第二光发生器(11)和第二光接收器(12)；所述气泡计量机构为相对设置在U型管体(7)侧壁上的第三光发生器(17)和第三光接收器(18)，所述第二光接收器(12)和第三光接收器(18)与微机电连接。

4.如权利要求3所述的分辨率可调的微量气体流量计，其特征在于：所述U型管体(7)内溶液初始液面处设置有第一光发生器(9)和第一光接收器(10)，所述第一光接收器(10)与微机电连接。

5.如权利要求4所述的分辨率可调的微量气体流量计，其特征在于：所述第二光发生器(11)发射的光信号发生改变时，第二光接收器(12)计量一个脉冲并将信号传输至微机，微机控制电磁阀出气口(4)关闭，打开电磁阀排气口(13)；

所述第一光发生器(9)发射的光信号发生改变时，第一光接收器(10)计量一个脉冲并将信号传输至微机，微机控制电磁阀排气口(13)关闭，电磁阀出气口(4)开启。

6.如权利要求1所述的分辨率可调的微量气体流量计，其特征在于：所述U型管体进气口(6)和U型管体出气口(19)的口径小于U型管体(7)的管径。

7.如权利要求1所述的分辨率可调的微量气体流量计，其特征在于：所述气泡产生口(14)设置在U型管体(7)底端靠近U型管体出气口(19)的一端，且气泡产生口(14)的口径沿气体运动方向逐渐减小。

8.如权利要求7所述的分辨率可调的微量气体流量计，其特征在于：所述气泡产生口(14)产生的气泡体积为0.03～1ml。

9.如权利要求1所述的分辨率可调的微量气体流量计，其特征在于：所述U型管体进气口(6)处设置有压力温度传感器(8)，该压力温度传感器(8)与微机电连接。

10.如权利要求1所述的分辨率可调的微量气体流量计，其特征在于：所述U型管体(7)底部设置有支撑座(15)。