[发明专利]反铁电类材料在非易失性存储器件中的应用有效
申请号: | 201710112946.0 | 申请日: | 2017-02-28 |
公开(公告)号: | CN107146793B | 公开(公告)日: | 2022-02-15 |
发明(设计)人: | 乌韦·施勒德尔;米兰·佩希奇 | 申请(专利权)人: | 纳姆实验有限责任公司 |
主分类号: | H01L27/11507 | 分类号: | H01L27/11507 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 梁丽超;刘彬 |
地址: | 德国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 反铁电类 材料 非易失性存储器 中的 应用 | ||
1.一种集成电路元件,包括:
第一电极;
第二电极;以及
设置在所述第一电极和所述第二电极之间并且包含具有带有两个磁滞环的电荷-电压特性的箍缩磁滞环(PHL)材料的层,所述层具有内部偏置场,所述内部偏置场使所述箍缩磁滞环(PHL)材料的所述电荷-电压特性偏移,以使所述两个磁滞环中的一者与零电压状态对准,使得所述箍缩磁滞环(PHL)材料能够在外部电场不存在的情况下保持在选定的极化状态。
2.根据权利要求1所述的集成电路元件,其中,所述第一电极和所述第二电极具有导致所述第一电极和所述第二电极之间的功函数值差异的不同组成,所述功函数值差异诱导所述内部偏置场。
3.根据权利要求2所述的集成电路元件,其中,所述第一电极和所述第二电极的功函数值差异在0.7eV至1.5eV的范围内。
4.根据权利要求1所述的集成电路元件,其中,所述层还包含诱导所述内部偏置场的固定电荷。
5.根据权利要求1所述的集成电路元件,其中,所述层还包括设置在所述第一电极和所述第二电极之间的至少一个中间层。
6.根据权利要求5所述的集成电路元件,其中,所述至少一个中间层包含诱导所述内部偏置场的固定电荷。
7.根据权利要求5所述的集成电路元件,其中,所述至少一个中间层包含具有高结晶温度或高带隙的材料。
8.根据权利要求5所述的集成电路元件,其中,所述至少一个中间层包含Al2O3、SrO或稀土氧化物。
9.根据权利要求1所述的集成电路元件,其中,所述PHL材料包含场诱导铁电(FFE)材料。
10.根据权利要求9所述的集成电路元件,其中,所述场诱导铁电(FFE)材料包含ZrO2或ZraXbO2,其中X为元素周期表的离子半径小于Zr的元素,并且a0,b0。
11.根据权利要求9所述的集成电路元件,其中,所述场诱导铁电(FFE)材料包含ZrO2或ZraXbO2,其中a0,b0,并且X为以下各项之一:Hf、Si、Al、Ge、元素周期表的第二族的元素。
12.根据权利要求9所述的集成电路元件,其中,所述场诱导铁电(FFE)材料包含HfaXbO2,其中,X为元素周期表的离子半径小于Hf的元素,并且a0,b0。
13.根据权利要求9所述的集成电路元件,其中,所述场诱导铁电(FFE)材料包含HfaXbO2,其中a0,b0,并且X为以下各项之一:Zr、Si、Al、Ge、元素周期表的第二族的元素。
14.根据权利要求1所述的集成电路元件,其中,所述箍缩磁滞环(PHL)材料包含反铁电(AFE)材料。
15.根据权利要求1所述的集成电路元件,其中,所述箍缩磁滞环(PHL)材料包含弛豫型(RFE)材料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的