[发明专利]一种用于无主栅太阳能电池的探针测试装置在审
申请号: | 201710113247.8 | 申请日: | 2017-02-28 |
公开(公告)号: | CN106898565A | 公开(公告)日: | 2017-06-27 |
发明(设计)人: | 周艳方;陈泉阳;李令先;蒋秀林;尹海鹏;单伟 | 申请(专利权)人: | 晶澳(扬州)太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司44104 | 代理人: | 李海波,刘艳丽 |
地址: | 225131 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 无主 太阳能电池 探针 测试 装置 | ||
1.一种用于无主栅太阳能电池的探针测试装置,其特征是:包括探针排,所述探针排包括探针排架和若干可伸缩的探针组,每个可伸缩的探针组包括至少一根电流探针和一根电压探针,所述若干可伸缩的探针组的下方设有探针头或导电条。
2.根据权利要求1所述的用于无主栅太阳能电池的探针测试装置,其特征是:所述可伸缩的探针组的数量为5~30组。
3.根据权利要求1所述的用于无主栅太阳能电池的探针测试装置,其特征是:每个可伸缩探针组的下方设有一个探针头,所述探针头的形状为Z型结构,相邻两探针头之间具有使所述无主栅太阳能电池上任何一根细栅都能与所述探针头相接触的重叠部分。
4.根据权利要求3所述的用于无主栅太阳能电池的探针测试装置,其特征是:Z型结构探针头的长度为3~30mm,宽度为2~10mm。
5.根据权利要求3所述的用于无主栅太阳能电池的探针测试装置,其特征是:Z型结构探针头与所述无主栅太阳能电池的细栅的接触面为刀刃型、锯口型或波纹型。
6.根据权利要求1所述的用于无主栅太阳能电池的探针测试装置,其特征是:所述导电条为具有弹性的导电体,所述具有弹性的导电体包括弹性体、导电线和粘接材料。
7.根据权利要求6所述的用于无主栅太阳能电池的探针测试装置,其特征是:所述弹性体为橡胶、树脂或硅胶,所述导电线为包裹金涂层的铜丝、银丝或合金,所述粘接材料为聚氨酯、硅胶或环氧树脂。
8.根据权利要求6所述的用于无主栅太阳能电池的探针测试装置,其特征是:所述导电条的截面为圆形、椭圆形、矩形或梯形,所述导电条的长度为50~300mm,宽度为1~10mm。
9.根据权利要求1-8任一项所述的用于无主栅太阳能电池的探针测试装置,其特征是:每个可伸缩的探针组包括两根电流探针和一根电压探针,其中两边为电流探针,中间为电压探针。
10.根据权利要求9所述的用于无主栅太阳能电池的探针测试装置,其特征是:每根电流探针和每根电压探针的外部均设有可伸缩探针套筒。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造