[发明专利]真空吸附单元和真空吸附载台

说明书

本发明公开了一种真空吸附单元和真空吸附载台，真空吸附单元包括：内部限定出气路通孔的外壳，气路通孔内设有上止抵面和下止抵面；可移动地设在气路通孔内的活塞，活塞的外周壁与气路通孔的内周壁滑动配合；两端分别止抵在外壳和活塞上的弹性件；与气路通孔连通的泄压通道，泄压通道被构造成仅在活塞移动至止抵在下止抵面时泄压通道被关闭。本发明的真空吸附单元，可根据气路通孔的用于吸附的一端是否被覆盖而在活塞上下两侧产生的不同的气压差来控制真空吸附单元的吸附状态，实现了真空吸附单元工作的自动化，实现了自动关闭未被覆盖的气路通孔的用于吸附的一端的目的。

技术领域

本发明涉及真空吸附领域，尤其涉及一种真空吸附单元和真空吸附载台。

背景技术

近年来相关技术的真空吸附载台吸附的基板尺寸趋于多样化，为了应对不同尺寸的基板，通常情况下采用粘贴胶带的方式来关闭基板载台上暂时不用的真空吸槽，从而给关闭真空吸槽的操作带来不便并且浪费人力。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种真空吸附单元，可根据气路通孔的用于吸附的一端是否被覆盖而在活塞上下两侧产生的不同的气压差来控制真空吸附单元的吸附状态，实现了真空吸附单元工作的自动化，实现了自动关闭未被覆盖的气路通孔的用于吸附的一端的目的。

本发明还提出一种真空吸附载台，包括上述的真空吸附单元。

根据本发明实施例的真空吸附单元，可应用于真空吸附载台，已知真空吸附载台包括基板载台，基板载台上设有真空吸槽。真空吸附单元包括：外壳，所述外壳内限定出气路通孔，所述气路通孔内设有上止抵面和下止抵面；活塞，所述活塞可移动地设在所述气路通孔内且位于所述上止抵面和所述下止抵面之间，所述活塞的外周壁与所述气路通孔的内周壁滑动配合；弹性件，所述弹性件的两端分别止抵在所述外壳和所述活塞上以常驱动所述活塞止抵在所述上止抵面上；与所述气路通孔连通的泄压通道，所述泄压通道被构造成在所述活塞移动至止抵在所述下止抵面时所述泄压通道被关闭。可以理解的是，气路通孔的两端分别与真空吸槽和真空管路相连通以实现真空吸附单元的吸附工作。

根据本发明实施例的真空吸附单元，通过在气路通孔内设置可移动的活塞，并且设置与气路通孔连通的泄压通道，泄压通道被构造成在活塞移动至止抵在下止抵面时泄压通道被关闭，从而可根据真空吸槽是否被覆盖而在活塞上下两侧产生的不同的气压差来控制真空吸附单元的吸附状态，实现了真空吸附单元工作的自动化，实现了自动关闭基板载台上的未被覆盖的真空吸槽的目的。

可选地，所述泄压通道设在所述活塞上，在所述活塞移动至止抵在所述下止抵面时所述下止抵面封堵所述泄压通道。从而使泄压通道的结构简单，能够降低真空吸附单元的制造成本。

可选地，所述泄压通道设在所述外壳内，所述泄压通道的上端位于所述上止抵面的上方，所述泄压通道的下端位于所述下止抵面的上方，在所述活塞移动至止抵在所述下止抵面时所述活塞的侧壁封堵所述泄压通道的下端以关闭泄压通道。从而使泄压通道的结构更加稳定，泄压作用更加可靠。

根据本发明的一些地实施例，所述外壳包括：筒体，所述筒体内限定出所述气路通孔；止挡件，所述止挡件设在所述气路通孔的内壁上，所述止挡件内设有与所述气路通孔连通的贯通孔，所述止挡件的上表面限定出所述下止抵面；垫片，所述垫片设在所述止挡件的下表面上，所述弹性件设在所述活塞的下方且所述弹性件的下端穿过所述贯通孔止抵在所述垫片上。从而使真空吸附单元的结构简单、可靠。

根据本发明的又一些实施例，所述外壳包括：筒体，所述筒体内限定出所述气路通孔；止挡件，所述止挡件设在所述气路通孔的内壁上，所述止挡件内设有与所述气路通孔连通的贯通孔，所述止挡件的上表面限定出所述下止抵面；垫片，所述垫片设在所述筒体的内壁上且位于所述止挡件的上方，所述弹性件位于所述活塞的上方且所述弹性件的上下两端分别与所述垫片和所述活塞相连。