[发明专利]压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置在审
| 申请号： | 201710113668.0 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN107150502A | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | 木村里至;松本齐 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人： | 苏萌萌,范文萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 器件 mems 液体 喷射 以及 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电器件，其特征在于，依次层压有压电体层、第一耐湿层和第二耐湿层，
所述第一耐湿层与所述第二耐湿层相比柔软性较高，
所述第二耐湿层为与所述第一耐湿层相比透湿性较低的材料。
2.如权利要求1所述的压电器件，其特征在于，
所述第一耐湿层与所述第二耐湿层相比杨氏模量较低。
3.如权利要求1或2所述的压电器件，其特征在于，
所述第二耐湿层与所述第一耐湿层相比膜厚较薄。
4.如权利要求1至3中任一项所述的压电器件，其特征在于，
所述第二耐湿层为金属。
5.如权利要求1至4中任一项所述的压电器件，其特征在于，
所述第一耐湿层为有机化合物。
6.如权利要求5所述的压电器件，其特征在于，
所述第一耐湿层为聚酰亚胺。
7.如权利要求1至6中任一项所述的压电器件，其特征在于，
所述第二耐湿层为铬。
8.一种压电器件，其特征在于，依次层压有压电体层、第一耐湿层和第二耐湿层，
所述第一耐湿层与所述第二耐湿层相比柔软性较高，
所述第二耐湿层为因水蒸气而氧化的材料。
9.一种微机电系统器件，其特征在于，
具备权利要求1至8中任一项所述的压电器件。
10.一种液体喷射头，其特征在于，
具备权利要求1至8中任一项所述的压电器件。
11.一种液体喷射装置，其特征在于，
具备权利要求10所述的液体喷射头。
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