[发明专利]膜厚检测装置及方法

权利要求书

1.一种膜厚检测装置，其特征在于，包括：公共电极和检测电极，所述检测电极包括N个检测电极芯片，所述N个检测电极芯片在产品主扫描方向上依次排列，每个检测电极芯片上有M个检测电极素子，所述M个检测电极素子依次排列，各检测电极素子与所述公共电极在第一方向上相对且间隔设置，公共电极表面与各检测电极素子表面之间形成待测膜的检测通道，M，N为自然数，其中，所述装置还包括：

差分放大电路，包括两个输入端和一个输出端，其中一个输入端与参考素子输出端相连，另一个输入端与有效检测电极素子的输出端相连，输出端为膜厚检测装置的有效信号输出，其中，所述参考素子为所述N个检测电极芯片所包括的一个或多个素子，所述N个检测电极芯片所包括的素子中除所述参考素子外的其它素子为有效检测电极素子。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：平均采样回路，其中，所述平均采样回路在所述参考素子为多个的情况下，将多个素子的输出平均值作为参考素子的补正值。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述平均采样回路包括：元件可编程逻辑门阵列PFGA和存储器，或者，所述平均采样回路为积分电路。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述参考素子包括以下之一：

所述产品主扫描方向上第1个检测电极芯片的第一个检测电极素子；

所述产品主扫描方向上第1个检测电极芯片上的第1～a个检测电极素子；

所述产品主扫描方向上第N个检测电极芯片的第M个检测电极素子；

所述产品主扫描方向上第N个检测电极芯片上的第b～N个检测电极素子全部M个检测电极素子；

其中，a,b均为自然数。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述M个检测电极素子按照预定的分辨率密度依次排列。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：第一基板和第二基板，其中，

所述公共电极设置在所述第一基板的第一表面上，所述第一基板的第一表面与所述第一方向垂直；所述第二基板与所述第一基板在所述第一方向上间隔设置，所述第二基板的第一表面朝向所述第一基板的第一表面，并且与所述第一基板的第一表面平行，各检测电极芯片设置在所述第二基板的第一表面上。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：第一框体和第二框体，其中，

所述第一基板设置在所述第一框体的第一表面上；所述第二框体与所述第一框体在所述第一方向上间隔设置，所述第二基板设置在所述第二框体的第一表面上。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：第一保护层和第二保护层，其中，

所述第一保护层设置在所述第一公共电极表面上；所述第二保护层设置在各检测电极芯片的各检测电极素子的表面上。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：第一导电薄膜和第二导电薄膜，其中，

所述第一导电薄膜设置在所述公共电极与所述第一保护层之间；所述第二导电薄膜设置在所有上述检测电极素子与所述第二保护层之间。

10.根据权利要求1至9所述的装置，其特征在于，所述参考素子位于有效扫描长度之外的区域。

11.一种膜厚检测方法，其特征在于，包括：

检测检测电极中参考素子的输出端输出的电压，以及所述检测电极中有效检测电极素子的输出端输出的电压，其中，所述检测电极包括N个检测电极芯片，所述N个检测电极芯片在产品主扫描方向上依次排列，每个检测电极芯片上有M个检测电极素子，所述M个检测电极素子依次排列，各检测电极素子与所述公共电极在第一方向上相对且间隔设置，公共电极表面与各检测电极素子表面之间形成待测膜的检测通道，M，N为自然数，所述参考素子为所述N个检测电极芯片所包括的一个或多个素子，所述N个检测电极芯片所包括的素子中除所述参考素子外的其它素子为有效检测电极素子；

差分放大电路输入所述参考素子的输出端输出的电压，以及所述检测电极中有效检测电极素子的输出端输出的电压，输出膜厚检测装置的有效信号。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，在所述参考素子为多个的情况下，所述平均采样回路将多个素子的输出平均值作为参考素子的补正值。