[发明专利]一种掩模传输预对准装置及方法

权利要求书

1.一种掩模传输预对准装置，其特征在于，依次包括光源模组、预对准测试部件和成像模组；

所述光源模组依次包括光源、准直单元和带十字标记的掩模版；

所述成像模组包括第一转折棱镜、半透半反射棱镜、CCD探测器和四象限探测器，所述光源发出的光线进入所述成像模组后，依次经第一转折棱镜和半透半反射棱镜后，其中一部分进入CCD探测器，另一部分进入四象限探测器。

2.根据权利要求1所述的掩模传输预对准装置，其特征在于，所述预对准测试部件为带米字标记的掩模版。

3.根据权利要求2所述的掩模传输预对准装置，其特征在于，所述带十字标记的掩模版上的十字标记不大于带米字标记的掩模版的米字标记的1/4900。

4.根据权利要求1所述的掩模传输预对准装置，其特征在于，所述带十字标记的掩模版上的十字标记不透光。

5.根据权利要求1所述的掩模传输预对准装置，其特征在于，所述光源为LED光源。

6.根据权利要求1所述的掩模传输预对准装置，其特征在于，所述准直单元为照明透镜。

7.根据权利要求1所述的掩模传输预对准装置，其特征在于，所述光源、准直单元和带十字标记的掩模版同轴设置。

8.根据权利要求1所述的掩模传输预对准装置，其特征在于，所述CCD探测器的最小分辨率不低于10um×10um。

9.根据权利要求1所述的掩模传输预对准装置，其特征在于，所述半透半反射棱镜和所述四象限探测器之间还设有第二转折棱镜。

10.根据权利要求1所述的掩模传输预对准装置，其特征在于，所述掩模传输预对准装置还包括基准板，所述光源模组安装于基准板上。

11.根据权利要求1所述的掩模传输预对准装置，其特征在于，所述掩模传输预对准装置还包括顶板，所述成像模组安装于顶板上。

12.一种掩模传输预对准方法，其特征在于，包括自调整补偿测量过程和线性校准补偿过程：

所述自调整补偿测量过程包括以下步骤：

S11：安装光源、准直单元、带十字标记的掩模版、第一转折棱镜、半透半反射棱镜、CCD探测器形成第一双远心成像系统；

S12：打开光源，将带十字标记的掩模版上十字标记成像在CCD探测器中；

S13：根据所述CCD探测器探测到的图像中十字标记的位置，计算得到光源模组与成像模组在X、Y两个方向上的偏差PX、PY；

所述线性校准补偿过程包括以下步骤：

S21：在所述第一双远心成像系统的基础上安装预对准测试部件和四象限探测器形成第二双远心成像系统；

S22：打开光源，将预对准测试部件上的标记成像在四象限探测器中；

S23：根据四象限探测器的探测数据以及自调整补偿测量过程所测得的偏移量PX，PY进行线性标定。

13.根据权利要求12所述预对准方法，其特征在于，所述自调整补偿测量过程还包括S14：根据计算得到的偏差PX、PY整体调整光源模组和成像模组的相对位置直至PX、PY均为0。

14.根据权利要求12所述预对准方法，其特征在于，所述自调整补偿测量过程还包括S14：记录该PX、PY值作为机器常数并在线性校准补偿过程进行补偿。

15.根据权利要求12所述预对准方法，其特征在于，所述步骤S22中，具体为将带米字标记的掩模版上米字标记成像在四象限探测器中。