[发明专利]基板的加工方法以及基板的加工装置在审
| 申请号： | 201710115492.2 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN107570894A | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 国生智史;前田宪一 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/14 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 田喜庆,吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加工 方法 以及 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板的加工方法，所述基板的加工方法使用了激光光源，其中，包括：
将激光导向所述基板，并对激光的照射位置进行扫描，从而对基板进行加工；以及
在照射所述激光时，对基板的激光的照射位置吹送空气，从而将基板冷却。
2.一种基板的加工装置，其中，包括：
激光光源；
电流镜，使所述激光光源的光向两轴方向变化；
F-theta透镜，使利用所述电流镜反射后的光在基板上聚光；
低温空气产生器；
空气喷嘴，将来自所述低温空气产生器的低温的空气吹送到加工位置；以及
控制器，控制所述电流镜以及所述低温空气产生器，将激光导向基板并扫描激光，从而对所述基板进行加工，且在对所述基板照射激光的时刻，将来自所述低温空气产生器的低温的空气吹送到加工位置。
3.根据权利要求2所述的基板的加工装置，其中，
通过利用所述电流镜反射后的激光经由所述F-theta透镜被引导到所述基板，所述F-theta透镜用于在所述基板上垂直地照射激光并在所述基板上以汇聚焦点的方式聚光，而不依赖由所述电流镜确定的光路。
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