[发明专利]热处理装置

说明书

本发明提供一种热处理装置。能够长期地使用炉心管，该炉心管使用于多孔质玻璃母材的热处理装置。热处理装置具备：硅玻璃制的炉心管；加热器，其与炉心管相邻地设置，用于对加热区域进行加热；以及移动机构，其支承多孔质玻璃母材，并且在利用加热器对加热区域进行了加热的状态下，在炉心管的内部使多孔质玻璃母材相对于加热器相对地移动而穿过加热区域，在炉心管中的、与位于加热区域的部分相邻的区域具有玻璃的壁厚比位于加热区域的部分的玻璃的壁厚薄的薄壁部。

技术领域

本发明涉及用于对光纤用多孔质玻璃母材进行热处理来制造光纤母材的热处理装置，特别是涉及在该热处理装置中使用的炉心管。

背景技术

作为光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，存在称为VAD法、OVD法的方法。在这些方法中，首先，在火焰中使玻璃原料燃烧而生成玻璃细颗粒，使该玻璃细颗粒沿着旋转的靶棒的轴向或者径向附着于该靶棒来制造多孔质玻璃母材。

作为用于使多孔质玻璃母材玻璃化的热处理装置，使用如图1所示那样的热处理装置1。热处理装置1由加热器2、覆盖该加热器2的炉体3和设置于加热器内侧的硅玻璃制的炉心管4构成。同样的装置记载于例如专利文献1等。

炉心管4的上端被开设有贯通孔的上盖5堵塞，安装有穿过贯通孔且支承多孔质玻璃母材10的支承棒6。在炉心管的下部设置有用于供给氦(He)气、氯(Cl₂)气这样的工艺气体的气体导入口7。在上盖设置有用于排出气体的气体排出口8。

炉心管4若反复进行多孔质玻璃母材10的热处理，则被在热处理时导入的工艺气体蚀刻，玻璃的厚度变薄，在炉心管4产生裂纹。与此相对，通过增厚炉心管4的玻璃的厚度，能够谋求炉心管4的长寿命化。

另外，炉心管4中的位于加热器2所加热的加热区域20的部分通过在开始多孔质玻璃母材10的加热处理之前预先使用加热器2来进行加热处理(熟化处理)而进行玻璃的结晶化，从而能够防止在多孔质玻璃母材10的加热处理时炉心管4变形。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-065642号公报

发明内容

发明要解决的问题

在使用上述那样的热处理装置来对多孔质玻璃母材进行处理之际，使安装于支承棒的多孔质玻璃母材依次向下方移动而通过加热区域，从而从下端对多孔质玻璃母材依次进行加热而进行透明玻璃化。在反复进行使如此加热的多孔质玻璃母材向加热区域的下方移动的处理的过程中，在炉心管的加热区域的下方局部地产生玻璃的结晶化。产生如下问题：在如此玻璃已结晶化的部分，易于产生管裂纹，仅反复进行多孔质玻璃母材的热处理几十次左右就必须更换炉心管。

用于解决问题的方案

为了解决上述的问题，本发明的热处理装置具备：硅玻璃制的炉心管；加热器，其与所述炉心管相邻设置，用于对加热区域进行加热；以及移动机构，其支承多孔质玻璃母材，并且在利用所述加热器对所述加热区域进行了加热的状态下，在所述炉心管的内部使所述多孔质玻璃母材相对于所述加热器相对移动而穿过所述加热区域。并且，在所述炉心管中的、与位于所述加热区域的部分相邻的区域具有玻璃的壁厚比位于所述加热区域的部分的玻璃的壁厚薄的薄壁部。

在本发明中，将所述薄壁部的玻璃的厚度设为炉心管的位于加热区域的部分的玻璃的厚度的75％以下为佳。另外，将薄壁部的玻璃的壁厚设为4mm～6mm为佳。

另外，在本发明中，在穿过所述加热区域之际的所述多孔质玻璃母材的移动方向上，在所述加热区域的下游区域具有所述薄壁部为佳，该下游区域是在所述加热区域的下游与所述加热区域相邻的区域。