[发明专利]广义载荷引起薄膜材料弹性模量变化的应力测量方法有效
| 申请号： | 201710121763.5 | 申请日： | 2017-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN106840473B | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 亢一澜;谢海妹;宋海滨;石宝琴 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01L1/04 | 分类号： | G01L1/04;G01N3/06;G01N3/40 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 广义 载荷 引起 薄膜 材料 弹性模量 变化 应力 测量方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种广义载荷引起薄膜材料弹性模量变化的应力测量方法；针对基底-薄膜双层异质结构，在基底材料弹性模量E1已知且不变的条件下，进行薄膜材料弹性模量E2随广义载荷变化的应力测量方法；步骤如下：
(1)广义载荷引起的薄膜材料的弹性模量变化的表征方法，其计算方法为：
(2)考虑广义载荷引起的薄膜材料弹性模量变化的基底应力与薄膜应力的表征方法，计算方法分别为：基底应力
薄膜应力
式中：k为梁变形曲率，T为等效广义载荷，β1、β2分别为基底材料与薄膜材料的等效膨胀系数，h1、h2分别为基底与薄膜的厚度，E1、E2分别为基底材料与薄膜材料的弹性模量；σ1、σ2分别为基底应力与薄膜应力，z1轴和z2轴沿着厚度方向，z1、z2分别为偏离基底与薄膜中性层的距离，-h1/2≤z1≤h1/2,-h2/2≤z2≤h2/2。
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