[发明专利]针对多状态以逐步方式调谐阻抗匹配网络的系统和方法

权利要求书

1.一种用于以逐步方式调谐阻抗匹配网络的方法，其包括：

在射频(RF)产生器的第一状态期间，当所述RF产生器在第一RF值下操作并且所述阻抗匹配网络具有第一可变电容时，接收在所述RF产生器的输出端与所述阻抗匹配网络的输入端之间感测到的第一测得的输入参数值；

针对所述第一状态，将一个或多个模型初始化为具有所述第一可变电容和所述第一RF值，其中所述一个或多个模型包括所述阻抗匹配网络的模型；

在所述一个或多个模型被初始化为具有所述第一可变电容和所述第一RF值后，根据所述第一测得的输入参数值使用所述一个或多个模型，针对所述第一状态，来计算第一输出参数值；

使用所述第一输出参数值和所述一个或多个模型来计算用于所述第一状态的最优可变电容，所述最优可变电容使得在所述一个或多个模型的输入端处的用于第一状态的反射系数和用于第二状态的反射系数的组合是最小的；

使用所述第一输出参数值和所述一个或多个模型计算第一有利的RF值，所述第一有利的RF值使得在所述一个或多个模型的所述输入端处的用于所述第一状态的所述反射系数是最小的；

在所述第一状态期间控制所述RF产生器以在所述第一有利的RF值下操作并且在所述第一状态期间产生比在所述第二状态期间产生的功率电平高的功率电平；以及

在所述第一状态期间将所述阻抗匹配网络设置成具有第一步进可变电容，其中所述第一步进可变电容与所述第一可变电容相比更接近所述最优可变电容，使得所述阻抗匹配网络针对所述第一状态以逐步方式被调谐。

2.根据权利要求1所述的方法，其还包括：

在所述RF产生器的所述第二状态期间，当所述RF产生器在第二RF值下操作并且所述阻抗匹配网络具有所述第一可变电容时，接收在所述RF产生器的所述输出端与所述阻抗匹配网络的所述输入端之间感测到的第二测得的输入参数值；

针对所述第二状态，将所述阻抗匹配网络的所述一个或多个模型初始化为具有所述第一可变电容和所述第二RF值；

当所述一个或多个模型具有所述第一可变电容和所述第二RF值时，根据所述第二测得的输入参数值使用所述一个或多个模型，针对所述第二状态，来计算第二输出参数值；

使用所述第二输出参数值和所述一个或多个模型来计算第二有利的RF值，所述第二有利的RF值使得在所述一个或多个模型的所述输入端处的用于所述第二状态的所述反射系数是最小的；

在所述第二状态期间，控制所述RF产生器以在所述第二有利的RF值下操作；以及

在所述第二状态期间将所述阻抗匹配网络设置成具有所述第一步进可变电容。

3.根据权利要求2所述的方法，其还包括：

在所述RF产生器的所述第一状态期间，当所述RF产生器在所述第一有利的RF值下操作并且所述阻抗匹配网络具有所述第一步进可变电容时，接收在所述RF产生器的所述输出端与所述阻抗匹配网络的所述输入端之间感测到的第三测得的输入参数值；

针对所述第一状态，将所述阻抗匹配网络的所述一个或多个模型初始化为具有所述第一步进可变电容和所述第一有利的RF值；

在所述一个或多个模型具有所述第一步进可变电容和所述第一有利的RF值时，根据所述第三测得的输入参数值使用所述一个或多个模型，针对所述第一状态，来计算第三输出参数值；

使用所述第三输出参数值和所述一个或多个模型来计算用于所述第一状态的另外的最优可变电容，所述另外的最优可变电容使得在所述一个或多个模型的所述输入端处的用于所述第一状态的所述反射系数和用于所述第二状态的所述反射系数的所述组合是最小的；

使用所述第三输出参数值和所述一个或多个模型计算第三有利的RF值，所述第三有利的RF值使得在所述一个或多个模型的所述输入端处的用于所述第一状态的所述反射系数是最小的；

在所述第一状态期间控制所述RF产生器以在所述第三有利的RF值下操作；以及

在所述第一状态期间将所述阻抗匹配网络设置成具有第二步进可变电容，其中所述第二步进可变电容与所述第一可变电容相比更接近所述另外的最优可变电容，使得所述阻抗匹配网络被针对所述第一状态以所述逐步方式调谐。