[发明专利]激光器及其倍频模组

说明书

技术领域

本发明涉及激光的技术领域，特别涉及一种激光器及其倍频模组。

背景技术

激光作为近代科学技术中的重大发明之一，广泛应用于冷加工领域。特别是在非金属以及精密加工中，激光的应用价值尤其突出。现有激光技术基本是通过808nm或880nm半导体泵浦激光晶体或利用线偏振发生器产生1064nm的激光束。

而随着全球对精细加工的需求日益增加，使得532nm绿光激光及355nm紫外激光的应用领域不断扩大。因此，需要对产生的基频1064nm激光束进行变频，以得到两倍频的532nm绿光激光及三倍频的355nm紫外激光。目前，市面上的绿光激光器多采用固体倍频的方案。即在激光器的腔内或者腔外设置倍频晶体，使激光束通过倍频晶体来实现激光由1064nm到532nm、355nm的转换。

然而，目前的激光器只能分别输出经过变频后的532nm、355nm激光束或者基频的1064nm激光。但有些场景则需要1064nm、532nm、355nm三种频率的激光同时使用。这样，就需要准备三个激光器分别输出不同频率的激光束才能满足需求，这将会使得成本升高，也使得操作不方便。

发明内容

基于此，有必要针对现有激光器只能输出一种频率激光的问题，提供一种能输出三种不同频率激光的激光器及其倍频模组。

一种倍频模组，包括：

二倍频晶体，包括第一入射端及第一出射端，基频激光可经所述第一入射端进入所述二倍频晶体，并从所述第一出射端输出频率加倍的二倍频激光与所述基频激光的第一混合光束；

分色镜，所述第一混合光束出射至所述分色镜表面时，所述基频激光发生透射且所述二倍频激光发生反射；

活动设置的第一全反射镜，可设置于第一位置及第二位置，所述第一全反射镜位于所述第一位置时，所述基频激光直接输出，所述第一全反射镜位于所述第二位置时，所述基频激光进入所述二倍频晶体；

三倍频晶体，包括第二入射端及第二出射端，所述第一混合光束可经所述第二入射端进入所述三倍频晶体，并从所述第二出射端输出频率加三倍的三倍频激光与所述二倍频激光、所述基频激光的第二混合光束；

活动设置的第二全反射镜，可设置于第三位置及第四位置，所述第二全反射镜位于第三位置时，所述第一混合光束出射至所述分色镜的表面，所述第二全反射镜位于所述第四位置时，所述第一混合光束进入所述二倍频晶体；及

滤光组件，与所述第二出射端耦合，接收所述第二混合光束并出射所述三倍频激光。

在其中一个实施例中，还包括光束整形组件，所述光束整形组件与所述第一入射端相对设置并耦合，所述基频激光经所述光束整形组件输出后，进入所述二倍频晶体。

在其中一个实施例中，所述光束整形组件包括相对且平行设置的凸透镜及凹透镜，且所述凸透镜与所述凹透镜的相对位置可调。

在其中一个实施例中，所述第一全反射镜位于所述第一位置时，遮挡所述第一入射端，以使所述基频光发生反射，所述第一全反射镜位于所述第二位置时，避位所述第一入射端。

在其中一个实施例中，还包括第一输出反射镜及第二反射输出镜，所述第一全反射镜位于所述第一位置时，与所述第一输出反射镜相对设置，所述基频光经所述第一全反射镜反射至所述第一输出反射镜；

所述第二输出反射镜与所述第一出射端相对设置并相对于所述二倍频晶体的轴线倾斜，所述分色镜与所述第二输出反射镜相对设置，所述第一混合光束经所述第二输出反射镜反射至所述分色镜；

其中，所述第一全反射镜位于所述第一位置时，所述第一全反射镜、所述第一输出反射镜、所述分色镜平行及所述第二输出反射镜相互平行。

在其中一个实施例中，所述第一全反射镜、所述分色镜、所述第一输出反射镜及所述第二输出反射镜均与所述二倍频晶体的轴线呈45度夹角。

在其中一个实施例中，所述第二全反射镜位于所述第四位置时，设置于所述分色镜与所述第二输出反射镜之间，所述第一混合光束经所述第二全反射镜反射进入所述三倍频晶体中。

在其中一个实施例中，所述第二输出端的表面为相对于所述三倍频晶体的轴线倾斜的斜面，且所述滤光组件为小孔光阑。

在其中一个实施例中，所述三倍频晶体相对于所述二倍频晶体的轴线倾斜预设角度，以使所述滤光组件输出的三倍频激光相对于所述二倍频晶体的轴线平行。

一种激光器，包括：

壳体；

安装于所述壳体内的激光发生装置，用于产生基频激光；及