[发明专利]一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜

权利要求书

1.一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜，由湿度控制器连通原子力显微镜组成，所述湿度控制器主要包括气体入口I(1)、管路三通I(2)、干气路流量调节器(3)、湿气路流量调节器(4)、气体入口II(5)、气体出口II(6)、由防溅挡板(7)、超声单元(8)、冷却器(9)组成的超声喷雾器(10)、管路三通II(11)、气体混合室I(12)、气体混合室II(13)、气体出口I(14)、温度及湿度感应器I(15)、温度及湿度感应器II(16)、气体入口III(21)、气体出口III(22)、隔离减震器I(23)、隔离减震器II(24)及通气管路，所述原子力显微镜主要包括扫描腔(17)、悬臂及针尖(18)、控制电路(19)、样品(20)，其中悬臂及针尖(18)和样品(20)位于所述扫描腔(17)内、控制电路(19)位于所述扫描腔(17)外并通过电缆与悬臂及针尖(18)、样品(20)相连，其特征是：所述气体入口II(5)、湿气路流量调节器(4)、管路三通I(2)、干气路流量调节器(3)、管路三通II(11)、气体出口II(6)依次连通，所述气体入口I(1)连通管路三通I(2)，所述湿气路流量调节器(4)、干气路流量调节器(3)与由计算机控制的马达连接且能够控制气体流速，所述气体入口II(5)和气体出口II(6)均连通入所述超声喷雾器(10)内；所述管路三通II(11)、气体混合室I(12)、气体入口III(21)依次连通，且气体入口III(21)通过隔离减震器I(23)与所述扫描腔(17)连接，所述温度及湿度感应器I(15)连接于气体混合室I(12)；所述气体出口I(14)、气体混合室II(13)、气体出口III(22)依次连通，且气体出口III(22)通过隔离减震器II(24)与所述扫描腔(17)连接，所述温度及湿度感应器II(16)连接于气体混合室II(13)。

2.根据权利要求1所述的一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜，其特征是：所述扫描腔(17)为密封腔并通过气体入口III(21)和气体出口III(22)连通所述湿度控制器。

3.根据权利要求1所述的一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜，其特征是：所述隔离减震器I(23)、隔离减震器II(24)包括弹簧减震、磁阻尼减震、气体减震等，能够使通过气路传到原子力显微镜扫描腔(17)的机械噪声减小。

4.根据权利要求1所述的一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜，其特征是：所述冷却器(9)主要包括一个导热槽和两个风扇，能够为超声单元(8)降温，使湿气路气体在通入超声喷雾器(10)前后温差更小，从而使样品温度更稳定。

5.根据权利要求1所述的一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜，其特征是：根据具体的研究需要，气体可以是氮气、氧气、氩气等。

6.根据权利要求1所述的一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜，其特征是：根据具体的研究需要，所述超声喷雾器(10)中液体可以是水、乙醇、甲醇等。