[发明专利]一种基于氢等离子体的固体样品化学蒸气发生进样方法

权利要求书

1.一种基于氢等离子体的固体样品化学蒸气发生进样方法，包括如下步骤：将氢等离子体聚于待测固体样品上，经反应得到待测元素的化学蒸气。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述氢等离子体通过介质阻挡放电、辉光放电或弧光放电产生。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述氢等离子体通过如下步骤A1)或步骤A2)得到：

A1)大气压下，氢气与惰性气体的混合气通过介质阻挡放电产生氢等离子体；

A2)大气压下，惰性气体通过介质阻挡放电产生等离子体；所述等离子体与氢气反应生成氢等离子体。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：步骤A1)中，所述混合气中，所述氢气与所述惰性气体的体积比为1：(2～8)。

5.根据权利要求3或4所述的方法，其特征在于：步骤A1)或A2)中，所述氢气的流速为50～600mL/min。

6.根据权利要求3-5中任一项所述的方法，其特征在于：步骤A1)或A2)中，所述惰性气体为氩气、氦气和氮气中的任一种。

7.根据权利要求3-6中任一项所述的方法，其特征在于：步骤A1)或A2)中，所述惰性气体的流速为200～1200mL/min。

8.根据权利要求3-7中任一项所述的方法，其特征在于：步骤A1)采用的装置如下：它包括样品室和放电通道；所述样品室包括样品室腔体和与所述样品室腔体相配合的样品室盖体；所述放电通道固设于所述样品室盖体上，所述放电通道的一端连接一三通部件，所述三通部件的另外两个通道分别为惰性气体进气口Ⅰ和氢气进气口，所述放电通道的另一端延伸至所述样品室腔体内；所述放电通道设于所述样品室腔体外的部分上贴附有两个电极，所述两个电极之间设有间距，所述两个电极均与交流电源相连接；所述样品室腔体的侧壁上的相对位置处分别设有惰性气体进气口Ⅱ和化学蒸气出气口；

步骤A2)采用的装置如下：它包括样品室和放电通道；所述样品室包括样品室腔体和与所述样品室腔体相配合的样品室盖体；所述放电通道固设于所述样品室盖体上，所述放电通道的一端为惰性气体进气口Ⅰ，另一端延伸至所述样品室腔体内；所述放电通道设于所述样品室腔体外的部分上贴附有两个电极，所述两个电极之间设有间距，所述两个电极均与交流电源相连接；所述样品室腔体的侧壁上的相对位置处分别设有氢气进气口和化学蒸气出气口。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于：步骤A1)采用的装置或步骤A2)采用的装置中，所述放电通道的材质为石英玻璃、硅氧玻璃和塑料中的任一种；

所述放电通道的内径为100nm～5mm；

所述两个电极之间的距离为0.5cm～8cm；

所述样品室盖体的材质为石英玻璃、硅氧玻璃或有机玻璃等；

所述放电通道与所述样品室盖体之间通过真空硅脂、橡皮泥、玻璃胶或密封圈进行密封配合；

所述样品室腔体的材质为塑料或硅氧玻璃。

10.权利要求1-9中任一项所述的方法在固体样品化学分析中的应用。