[发明专利]一种高级别净化室吊顶及其安装方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种高级别净化设备，尤其涉及一种高级别净化室吊顶及其安装方法。

背景技术

高级别洁净室对环境的要求十分严格又十分苛刻，对室内洁净度有非常严格的要求，一般要求的洁净度为ISO6级、5级，要求高的洁净度为ISO 3级、ISO2级甚至更高。因此，净化厂房净化空调系统末端的FFU内还要设有U15、U16或U17等超高效过滤器。同时，光电子和微电子用的洁净室对环境的化学污染的去除的要求非常高，一般要求达到PPb级，除此之外对环境的温度、相对湿度也提出极为严格的要求，一般温度为23±0.5℃，相对湿度为45±5％；要求严格的可能高到温度23±0.1℃；相对湿度45±2％；不仅如此，对室内环境的正压、照度、噪声、静电、屏蔽、微振都有很严格的要求。因此，目前用于高级别洁净室的净化空调系统大都采用MAU(新风机组)加FFU(风机过滤器机组)加DC(干冷盘管)的方案。

净化室的吊顶板上布置有数百、数千台FFU，FFU内装有高效过滤器或超高效过滤器和化学滤网，吊顶板安装的精密度和平整度是保证净化室洁净度的重要因素。

用于光电子和微电子的洁净室对于防微振有很严的要求，有的设备要设有防微振的减振台，对外来的振动都要进行控制，对于净化室上技术夹层上布满FFU的吊顶板安装的精密度和平整度和防止和控制内部和外来的振动是目前需要解决的技术问题。目前，一般来说，高级别洁净室的吊顶板是通过与下面的墙体来解决防微振问题，普遍认为吊挂式含FFU吊顶板是设计的“瓶颈”。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种高级别净化室吊顶，具有：安装FFU3的吊顶板2，一端与净化室顶部固定连接另一端吊装所述吊顶板2的吊杆1，所述吊杆1上还设置有弹性部件5和花篮螺栓4。

在一个优选的实施例中，其还具有顶板6，所述顶板6与所述吊顶板2分别限定了上技术夹层A的上、下边界。

在一个优选的实施例中，所述弹性部件5为减振弹簧。

在一个优选的实施例中，所述吊顶板2安装有多台所述FFU3，且每一个所述FFU3四周至少有2个所述吊杆1,优选为每一个所述FFU3四周有4个所述吊杆1。可以理解，本领域普通技术人员能够根据实际需要来确定FFU的台数。

在一个优选的实施例中，所述吊顶板2与下方墙板9之间的上马槽内10还设置有弹性密封垫8。

在一个优选的实施例中，所述弹性密封垫8为橡胶密封垫，厚度为8-12mm。

本发明还提供了一种高级别净化室吊顶的安装方法，其包括将安装有FFU3的吊顶板2通过吊杆1固定安装在净化室顶部，且所述吊杆1上设置有弹性部件5和花篮螺栓4。

在一个优选的实施例中，所述吊顶板2与下方墙板9之间的上马槽10内还设置有弹性密封垫8。

本发明的技术方案纠正了传统观点：认为用于高级别净化室的装有FFU吊顶板不能采用上挂式的技术偏见。本发明技术方案可以防止和控制外来的振动影响吊顶板安装的精密度和平整度，从而简化高级别净化室的吊顶板安装工序，提高了生产效率，降低了成本。

附图说明

图1是根据本发明一实施例纵剖面示意图。

图2是安装有本发明吊顶板的高级别净化室剖面图。

附图中附图标记说明如下：

1 吊杆

2 吊顶板

3 FFU,也即高效过滤器和/或超高效过滤器

4 花篮螺栓

5 弹性部件

6 顶板

7 屋面钢结构

8 弹性密封垫

9 墙板

10 上马槽

11 新风机组MAU

A 上技术夹层

B、B₁、B₂、B₃ 洁净室

C 干冷盘管

D 新风机房

E 空压、冷冻站房

F 气流方向

G 排风机房

H 气体入口

I 纯水站房

J 下技术夹层

具体实施方式

为了更好地说明本发明，下面参照附图予以说明。

本申请所指高级别洁净室是指洁净室的洁净度至少为ISO6级或者更高。