[发明专利]一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种可阳极键合LTCC材料的制备方法，其特征在于，所述可阳极键合LTCC材料包含：70～50 wt%的β-LiAlSi₂O₆微晶玻璃和30～50 wt %的β-Al₂O₃陶瓷；所述制备方法包括：按β-LiAlSi₂O₆微晶玻璃70～50wt%、β-Al₂O₃陶瓷30～50wt%将β-LiAlSi₂O₆微晶玻璃和β-Al₂O₃陶瓷混合、成型、在低于900℃烧结，得到所述可阳极键合LTCC材料，其中所述β-LiAlSi₂O₆微晶玻璃通过如下方法制备：

将Li₂CO₃或Li₂O、Al₂O₃和SiO₂按化学计量比混合后于900～1100℃保温1～6小时，得到合成料；

将合成料于900～1100℃保温1～6小时，然后淬冷，得到β-LiAlSi₂O₆微晶玻璃。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，β-LiAlSi₂O₆微晶玻璃的质量百分比为70～65 wt%，β-Al₂O₃陶瓷的质量百分比为30～35 wt%。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述β-LiAlSi₂O₆微晶玻璃的玻璃转化温度为500～540℃，熔点为770～800℃。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述可阳极键合LTCC材料的烧结温度低于900℃，300℃时热膨胀系数为 2～6 ppm/K，200℃时离子迁移率1×10^-8S/cm以上，25℃时离子迁移率1×10^-10S/cm以下。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述β-LiAlSi₂O₆微晶玻璃的粒径为100 nm～10 μm，所述β-Al₂O₃陶瓷的粒径为100 nm～10 μm。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述β-LiAlSi₂O₆微晶玻璃的粒径为500 nm～1μm。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，烧结时间为0.1～6小时。