[发明专利]一种纳米金刚石的制备方法在审

专利信息
申请号: 201710129795.X 申请日: 2017-03-06
公开(公告)号: CN108529617A 公开(公告)日: 2018-09-14
发明(设计)人: 韩少华;于晋京;张立;张久东;惠山 申请(专利权)人: 上海启发电子科技有限公司
主分类号: C01B32/26 分类号: C01B32/26;B82Y30/00
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 冯子玲
地址: 200333 上海市普*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 微波沉积 石墨 纳米金刚石 汽化 室内 制备 加热 蒸汽 纳米金刚石颗粒 高纯惰性气体 制备技术领域 超声波分散 催化剂基体 绝对真空度 微波等离子 金刚石 惰性气体 混合气体 绝对压力 外加磁场 真空状态 超声波 摩尔比 室内壁 微波源 停留
【权利要求书】:

1.一种纳米金刚石的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)真空状态下石墨的汽化,在绝对真空度低于100pa的真空度下,将石墨加热至石墨汽化,加热温度为3500-5000℃;

(2)汽化后的石墨蒸汽同时加入高温高纯惰性气体,进行超声波分散,加入的惰性气体与石墨蒸汽的摩尔比为1:2-4;

(3)在微波沉积室内,将混合气体进行微波等离子体化,同时在微波沉积室内加入超声波进行振动,微波沉积室内壁上设置有催化剂基体,在微波沉积室内停留0.5-3小时,微波沉积室内的温度为3500-4500℃,绝对压力为150-300pa,微波源的频率为0.5-2GHz,同时外加磁场,从而得到纳米金刚石。

2.根据权利要求1所述的一种纳米金刚石的制备方法,其特征在于:微波沉积室内设置有真空泵接口,真空泵接口处设置有挡网,挡网的孔径为50-200nm。

3.根据权利要求1所述的一种纳米金刚石的制备方法,其特征在于:所述高温高纯惰性气体为氩气、氦气、二氧化碳、氮气中的至少一种,温度为2500-4000℃。

4.根据权利要求1所述的一种纳米金刚石的制备方法,其特征在于:所述催化剂基体为以二氧化钛为载体,吸附有钴镍金属单质的催化剂。

5.根据权利要求1所述的一种纳米金刚石的制备方法,其特征在于:所述微波源上设置有波导,微波源的功率为5-10kw,微波源上设置有功率调节器。

6.根据权利要求1所述的一种纳米金刚石的制备方法,其特征在于:所述外加磁场围绕在微波沉积室外壁上,磁场强度为10-200T。

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