[发明专利]龙门定位平台

说明书

技术领域

本发明涉及龙门定位平台，可用于电子行业，主要用于大型平面构造物的整体或者局部处理，包括液晶面板的切割、液晶面板的修复、液晶面板的缺陷检查、半导体装置的缺陷检查。

背景技术

液晶屏10.5代生产用移动平台是10.5代面板产线的重要组成部分，以液晶生产水平为标准的电子行业的发达程度是衡量一个国家科技实力的重要指标。

世界的液晶产业经过20年的蓬勃发展，已经从当初的2代产业发展到现在的10代产线，生产的效率和品质大大提高。经过市场调查，目前我国的产业基本处在5代产线到8代产线之间，效率和单位生产成本远低于10代产线，根据我国政府设备制造2025纲要的部署，到2025我国的液晶行业要全面进入10G时代。开发稳定性好、达到电子行业生产要求的经济型的移动定位平台有很好的实用价值。

电子行业需要用到特大型的定位平台(尺寸为4000mm×4000mm)，而定位到1微米以内主要的技术难点在于：

1、采用传统的大理石结构，成本较高，且运输不方便，且交货期较长，同时对安装和使用的环境要求较高。

2、面积越大，控制补偿的难度越大，无法实现精密控制。

3、两根Y轴无法实现真正的同步

4、X轴在两边位置和中间位置的变形发生量不一致，导致整个X轴的位置控制产生偏差无法实现准确定位。

发明内容

本发明的目的在于提供一种龙门定位平台，其定位精度高，工作运行速度快。

为实现上述目的，本发明的技术方案是设计一种龙门定位平台，包括：大理石平台，设置在大理石平台上的龙门架，设置在龙门架上的工作头，控制龙门架在Y轴方向平移的Y轴移动定位机构，以及控制工作头在X轴方向平移的X轴移动定位机构；

所述X轴移动定位机构包括：设于龙门架上且支承工作头的X轴方向直线导轨，驱动工作头沿该X轴方向直线导轨移动的X轴方向线性马达；

所述Y轴移动定位机构包括：分设在大理石平台两侧边且支承龙门架的一对Y轴方向直线导轨，驱动龙门架沿该对Y轴方向直线导轨移动的Y轴方向线性马达；

所述大理石平台配有吸震地脚。

优选的，所述X轴移动定位机构还包括：用于检测工作头在X轴方向移动位置的X轴方向光栅传感器。

优选的，所述Y轴移动定位机构还包括：用于检测龙门架在Y轴方向移动位置的Y轴方向光栅传感器。

优选的，所述大理石平台的尺寸为4000mm×4000mm。

优选的，所述X轴方向直线导轨的长度为3300mm，X轴方向直线导轨的有效负载大于50kg。

优选的，所述Y轴方向直线导轨的长度为3600mm，Y轴方向直线导轨的有效负载大于60kg。

优选的，所述X轴方向线性马达为无铁芯线性马达。

优选的，所述Y轴方向线性马达为铁芯线性马达。

优选的，所述龙门定位平台，其最大的重复定位精度为±2μm,最大的工作运行速度为3米每秒。

本发明的优点和有益效果在于：提供一种龙门定位平台，其定位精度高，工作运行速度快。

本发明移动平台配置可以广泛用于FPD 5代到10代的面板生产，适合目前主流各种尺寸，特别提出的是G10.5代移动平台是和日本夏普并驾齐驱的最大规格尺寸，适合需要纳米级精度和高速度的检查及修复设备。最大的重复定位精度是±2μm,最大的工作运行速度是3米每秒，能有效提高产品的生产率，降低企业的原单位成本。

液晶平台构成：X-轴长度为:3300mm有效负载大于50kg材料:特制工艺铝型材，动力源采用无铁芯线性马达，Y-轴长度为:3600mm有效负载大于60kg,动力源采用铁芯线性马达，平台选用优质济南大理石作为平面，吸震地脚选用德国的产品。

目前国际上龙门移动平台的市场竞争集中在高速、稳定、精度的这三个方面，特别是在高速长距离的精密控制定位作业，尚未有一套合理的控制技术。

本发明针对此背景，提供下关键技术：

1.高刚度、高速度以及节能的机械结构。

2.高速度、高精度以及节能的控制系统。

3.针对接触作业的控制技术的建立。

本发明还实现以下创新点：

1.重复操作精度±2μm，世界最高精度。

2.最大运动速度1500mm/s，国内同类产品近两倍，国际行业的最高速度。