[发明专利]用于确定样品高度信息的方法以及扫描显微镜

权利要求书

1.一种用于确定样品高度信息的方法，包括以下步骤：

-生成照明点；

-使用所述照明点照射所述样品；

-捕获所述照明点在所述样品上的反射图像；

-评估所述图像的横向分布；

-根据所述横向分布确定所述高度信息；

其中，所述照明点具有三维照明图案以及/或者探测光路中的所述图像具有三维探测图案。

2.如权利要求1中所述的方法，特征在于所述照明图案和/或所述探测图案具有沿光学轴不对称的所述横向强度分布中的变化，其中所述光学轴平行于与放置所述样品的样品平面正交的平面延伸。

3.如权利要求1或2所述的方法，特征在于相位分布被用于生成所述照明图案和/或探测图案。

4.如权利要求3中所述的方法，特征在于所述相位分布为线性的。

5.如权利要求1-4中任一所述的方法，特征在于所述图像的强度信息被进一步确定。

6.如权利要求1-5中任一所述的方法，特征在于所述照明图案通过使用有旋转强度分布的激光束来生成。

7.如权利要求1-5中任一所述的方法，特征在于将多个照明点同时扫描在所述样品平面上。

8.一种扫描显微镜，包括：

-照明装置(07)，其用于用照明点照射样品；

-扫描装置(09)，其用于在所述样品上扫描所述照明点；

-探测器装置(16)，其用于由所述样品反射的所述照明点的空间分辨探测；

-评估装置，其用于评估所述探测器装置(16)的信号；

特征在于：

-所述照明装置(07)和/或探测器装置包括用于生成三维图案的器件，所述三维图案具有沿光学轴不对称的横向强度分布中的变化；且

-所述评估装置配置成根据所述探测器装置的信号确定高度信息。

9.如权利要求8中所述的扫描显微镜，特征在于所述用于生成所述三维图案的器件是相位元件(17)。

10.如权利要求9中所述的扫描显微镜，特征在于所述相位元件(17)包括玻璃楔，所述玻璃楔设置在所述扫描显微镜的瞳平面中，且覆盖所述照明点和/或图像的至少一部分。

11.如权利要求10中所述的扫描显微镜，特征在于所述玻璃楔为第一玻璃楔且所述相位元件(17)包括第二玻璃楔，其中所述第一玻璃楔和所述第二玻璃楔呈相反的方向设置且各自覆盖所述照明图案的一半。

12.如权利要求8中所述的扫描显微镜，特征在于所述用于生成照明图案的器件是有旋转强度分布的激光束。

13.如权利要求8-12中任一所述的扫描显微镜，特征在于所述探测器装置(16)是象限光电二极管。