[发明专利]一种单面精密研磨机用真空吸附式下研磨盘

权利要求书

1.一种单面精密研磨机用真空吸附式下研磨盘，其包括真空吸附装置、下研磨盘装置、支撑装置、带轮，其特征在于：所述支撑装置由轴承座(4)及在轴承座两端对称布置的端盖(6)和一对圆锥滚子轴承组成，轴承座(4)纵向固定安装在机架上，所述真空吸附装置由联轴套(3)、空心轴(5)、旋转接头(8)、双外丝接头Ⅰ(9)、钢管(10)、双外丝接头Ⅱ(11)和真空泵(12)组成，空心轴(5)安装在轴承座(4)上且上下两端伸出，联轴套(3)与空心轴伸出上端螺纹连接，所述下研磨盘装置包括基盘(1)和镜盘(2)，基盘(1)嵌装于镜盘(2)内，基盘(1)上表面与镜盘(2)上表面齐平，基盘(1)上设有若干通孔，镜盘(2)上设有气道与基盘(1)上的通孔连通，镜盘(2)下端与联轴套(3)上端以锥面接触，空心轴(5)伸出下端依次同轴安装旋转接头(8)、双外丝接头Ⅰ(9)、钢管(10)和双外丝接头Ⅱ(11)，双外丝接头Ⅱ(11)连接真空泵(12)，真空泵(12)固定在地面上，带轮(7)安装在空心轴(5)伸出下端轴上，下研磨盘装置与真空吸附装置构成气体流动通路，研磨时可利用真空负压将覆盖在基盘(1)上的多块玻璃盖片吸附在基盘(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种单面精密研磨机用真空吸附式下研磨盘，其特征在于：所述基盘(1)上若干通孔的排布与覆盖在基盘(1)上的多块玻璃盖片相对应，每块玻璃盖片下覆盖的基盘(1)上的通孔为五孔式分布，分别位于玻璃盖片处中心、中心距四角等长距离处，使多块玻璃盖片整齐排列于基盘(1)上后能够完全覆盖多个五孔式通孔。

3.根据权利要求1所述的一种单面精密研磨机用真空吸附式下研磨盘，其特征在于：所述基盘(1)与镜盘(2)之间采用O型密封圈密封，密封槽开在镜盘(2)上。

4.根据权利要求1所述的一种单面精密研磨机用真空吸附式下研磨盘，其特征在于：所述镜盘(2)上所设气道是在镜盘(2)上开有中心通孔，并在与基盘(1)接触底面开有与中心通孔同轴的大孔，大孔半径稍大于基盘(1)上最外侧通孔到中心点距离。

5.根据权利要求1所述的一种单面精密研磨机用真空吸附式下研磨盘，其特征在于：所述基盘(1)材料为DC53模具钢。

6.根据权利要求1所述的一种单面精密研磨机用真空吸附式下研磨盘，其特征在于：所述空心轴(5)一端开有外螺纹，另一端兼有内螺纹和外螺纹。