[发明专利]立式复合径流分子泵

权利要求书

1.一种立式复合径流分子泵，包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上，所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽；

其特征在于，位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；

所述静轮的中部未设置隔板。

2.根据权利要求1所述的立式复合径流分子泵，其特征在于：所述抽气槽由三部分组成，其中，靠近所述抽气槽的进气口的部分为第一部分，所述抽气槽的中间部分为第二部分，所述第二部分为环形通道，靠近所述抽气槽的出气口的部分为第三部分。