[发明专利]一种降低测量数据不确定度的数据处理方法

权利要求书

1.一种降低测量数据不确定度的数据处理方法，其特征在于，该方法包括：

步骤一：制备平面度低于设定平面度S的平面作为标准平面；

步骤二：对标准平面和待补偿的实际加工平面设置采样频率和采样长度；

步骤三：按照步骤二中的采样频率和采样长度，以标准平面的任一角点为原点，z轴指向标准平面的法线方向，建立直角坐标系，利用测量仪器对标准平面进行采样，获得测量仪器的z轴的测量数据X1，标准平面的测量数据即为测量误差；

步骤四：对获得的测量仪器的测量数据进行最佳拟合定位，去除坐标系的定位误差，获得去除坐标系的定位误差的测量数据X2；

步骤五：按照步骤三的测量方式，在同一所述直角坐标系下多次测量标准平面，针对步骤三获得的测量误差按照步骤四的去除定位误差方式进行处理，获得多组去除坐标系的定位误差的测量数据X2，分析所述测量数据X2，如果所述测量数据X2具有相同的变化规律，则对测量数据X2取均值，该均值记为系统误差X3，并对系统误差进行补偿，获得补偿后的测量数据X4，即X4＝X2-X3；如果测量数据X2没有规律，则忽略系统误差对测量结果的影响；

步骤六：利用可选滤波方法对测量数据X4进行滤波，选定滤波效果最好的滤波方法；

步骤七：对实际加工平面进行测量时，采用步骤二中确定的采样频率和采样长度，在实际加工平面上，建立与步骤三所述直角坐标系相同的坐标系，利用步骤三使用的测量仪器对实际加工平面进行采样，获得实际加工平面的测量数据Y1；对实际加工平面的测量数据Y1按照步骤四的去除定位误差的方式进行处理，获得去除定位误差的测量数据Y2，利用步骤五获得的系统误差X3对测量数据Y2进行补偿，获得补偿后的测量数据Y3，利用步骤六选定的滤波方法，对测量数据Y3中的随机误差进行滤除，获得滤除后的测量数据Y4。

2.如权利要求1所述一种降低测量数据不确定度的数据处理方法，其特征在于，对步骤六选定的滤波方法，采用频谱分析滤波效果，如果滤波效果符合设定要求，则完成滤波方法的确定，否则，重新选定滤波方法。

3.如权利要求1所述一种降低测量数据不确定度的数据处理方法，其特征在于，S＝0.3μm。