[发明专利]一种固晶机的取料设备有效
申请号: | 201710141523.1 | 申请日: | 2017-03-10 |
公开(公告)号: | CN106941086B | 公开(公告)日: | 2023-10-17 |
发明(设计)人: | 邱国良 | 申请(专利权)人: | 东莞市凯格精机股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;唐京桥 |
地址: | 523000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 固晶机 设备 | ||
技术领域
本发明涉及固晶机技术领域,尤其涉及一种固晶机的取料设备。
背景技术
固晶机取料工艺中对吸嘴的状态检测有很高的要求,如何高效,智能的判断吸嘴状态尤为重要。而且随着设备管控要求的不断提高,需要通过一上位机可管控各设备的工作情况,
目前市场上吸嘴状态检测主要通过吸嘴中流量传感器所反馈的模拟电压值,对传感器反馈的模拟电压与由电位器和电阻组成的比较电压进行比较,进而判断吸嘴的工作状态,且该比较电压的值是固定的,不可随意设置,且吸嘴的比较结果并不能实时被上位机得知。
吸嘴由于持续使用,存在老化现象,使得吸嘴孔径变小,但其实孔径变小后的吸嘴本身仍然可用,因为比较电压的值是固定的,使其监测电路部分无法进一步监测,间接降低了吸嘴的使用寿命,在现在的工作中,该类吸嘴直接被报废,无疑是十分浪费的。
发明内容
本发明的目的在于提供一种固晶机的取料设备,来解决以上技术问题。
为达此目的,本发明采用以下技术方案:
一种固晶机的取料设备,包括取料装置和气体流量监测装置;
所述取料装置包括电磁阀组和吸嘴;
所述电磁阀组包括一用于连接所述吸嘴的吸嘴连接口和一用于连接负压源的负压源连接口,所述负压源连接口内设置有用于控制所述吸嘴是否连通所述负压源的第一气路阀门;
所述气体流量监测装置包括流量传感器、流量检测电路和上位机;
所述流量传感器的两气路连接端分别连接所述负压源和所述负压源连接口,所述流量传感器的工作电压输出端电连接所述流量检测电路,用于根据流经所述流量传感器的气体的流量对应输出一工作电压;
所述上位机用于预先设定所述吸嘴对应的比较电压;
所述流量检测电路电连接所述上位机,用于从所述上位机获取所述吸嘴对应的比较电压,还用于实时将所述对应输出的工作电压和所述吸嘴对应的比较电压进行比较,以判断所述吸嘴是否正常工作,并反馈至所述上位机。
优选的,所述流量检测电路还包括下位机和模拟比较输出电路;
所述下位机的采样信号输入端电连接所述流量传感器的工作电压输出端;所述下位机和所述上位机通信连接;所述下位机的比较电压输出端电连接所述模拟比较输出电路的比较电压输入端,
所述下位机用于设定所述第一吸嘴和所述第二吸嘴对应的比较电压;具体为:
所述下位机和所述上位机进行数据通信,所述下位机可将所述流量传感器的工作电压输出端输出的工作电压转换为数字信号,发送至所述上位机;所述上位机根据所述吸嘴在正常工作时所述下位机发送的工作电压,进而设定一比较电压,所述上位机再将设定好的比较电压发送至所述下位机,由所述下位机通过数模转换后输出至所述模拟比较输出电路进行电压比较;
所述模拟比较输出电路的工作电压输入端电连接所述流量传感器的工作电压输出端;所述模拟比较输出电路用于比较所述模拟比较输出电路的工作电压输入端输入的工作电压是否大于等于所述模拟比较输出电路的比较电压输入端输入的比较电压,若是,则输出一吸嘴正常工作的比较信号,反馈至所述上位机;否则,则输出一吸嘴未正常工作的比较信号,反馈至所述上位机。
优选的,所述吸嘴包括第一吸嘴;所述电磁阀组包括第一电磁阀组;所述流量传感器包括第一路流量传感器;所述流量检测电路包括第一路模拟比较输出电路;
所述第一路模拟比较输出电路包括电阻R4、电阻R5、电阻R6、电阻R7、第一电压比较器、第二电压比较器、电容C19、电容C20、电容C21、电容C22、电容C33、光耦开关U4和二极管D4;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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