[发明专利]喷墨头及喷墨记录装置

说明书

技术领域

本发明的实施方式涉及一种喷墨头及喷墨记录装置。

背景技术

所谓的按需型喷墨记录方式为根据图像信号从喷嘴吐出墨滴，并在记录纸上形成图像，该图像由墨滴形成。按需型喷墨记录方式包含发热元件型和压电元件型。

在发热元件型中，位于墨的流路的发热体在墨中产生气泡。被气泡按压的墨滴从喷嘴吐出。另一方面，在压电元件型中，由于压电元件(Piezo元件)变形而使收容于墨室的墨产生压力变化。由此，被加压的墨滴从喷嘴吐出。

作为压电元件型的一例的喷墨头具有对墨进行加压的驱动元件(压电元件、致动器)。该驱动元件例如具有压电膜和形成于所述压电膜两面的金属电极膜。

上述喷墨头具有收容墨的压力室。安装有上述驱动元件的振动板位于压力室的一方的端部。具有喷嘴的喷嘴板位于压力室的另一方的端部。

如果驱动波形(电压)施加于两个上述电极膜，则与极化方向相同方向的电场经由该电极膜而施加于压电膜。由此，驱动元件在与电场方向正交的方向上伸缩。振动板利用该伸缩而变形。由于振动板变形，在压力室内的墨上产生压力变化，墨滴被从喷嘴吐出。

发明内容

发明要解决的技术问题

在现有构成的喷墨头的构造中，与用于将电压施加于驱动元件的外部元件的连接端子接触的部分夹持驱动元件而与压力室相对配置。在这种构成中，通过长时间驱动驱动元件，从而向与连接端子的接触部反复施加应力。因此，随着长时间驱动驱动元件，则有可能在形成驱动部的膜上产生裂纹。并且，由于电流集中于该裂纹部而有可能引起绝缘破损，并与连接端子的接触部有可能接触不良。因此，与外部元件的连接端子接触的部分夹持驱动元件而与压力室相对的配置，成为对于应力较弱的构造，在与连接端子的接触部中引起各驱动元件的可靠性下降。

本实施方式提供一种喷墨头及喷墨记录装置，其能够抑制驱动元件的反复应力所引起的裂纹，能够提高各驱动元件的可靠性。

解决技术问题的技术方案

一个实施方式涉及的喷墨头包括基材、振动板和驱动元件。基材，具有收容墨的压力室；振动板，具有堵塞所述压力室的第一面和位于所述第一面的相反侧的第二面；以及驱动元件，位于所述振动板的所述第二面，并且，当所述驱动元件被施加有电压时通过使所述振动板变形来使所述压力室的容积变化，使墨从喷嘴吐出，所述驱动元件具有：位于所述振动板的所述第二面的第一电极；与所述第一电极相对的第二电极；以及介于所述第一电极和所述第二电极之间的压电体，所述喷墨头还包括：布线间绝缘膜，覆盖所述振动板的所述第二面和所述驱动元件；以及引出电极，位于所述布线间绝缘膜之上，所述布线间绝缘膜具有使所述第二电极的一部分露出并使所述第二电极与所述引出电极连接的接触部，所述接触部配置于与所述基材中所述压力室的周壁的实心部对应的位置。

一种喷墨记录装置，具有所述的喷墨头。

附图说明

图1是示出第一实施方式涉及的喷墨打印机的截面图。

图2是示出第一实施方式的喷墨头的主要部分构成的俯视图。

图3A是图2的IIIA-IIIA线截面图。

图3B是图2的IIIB-IIIB线截面图。

图4的(A)至(C)示出第一实施方式的喷墨头的制造工序，图4的(A)为示出在硅晶片表面的全部区域成膜振动板及基板上绝缘膜的氧化膜的状态的截面图，图4的(B)为示出将下部电极和压电膜和上部电极顺次层叠于振动板及基板上绝缘膜的状态的截面图，图4的(C)为示出将下部电极和压电膜和上部电极图案化的状态的截面图。

图5中图5的(A)为示出在振动板、基板上绝缘膜、驱动元件上成膜布线间绝缘膜的状态的截面图，图5的(B)为示出图案化布线间绝缘膜的状态的截面图，图5的(C)为示出成膜引出电极的状态的截面图。

图6中图6的(A)为示出在振动板、基板上绝缘膜、布线间绝缘膜、引出电极上形成保护膜的状态的截面图，图6的(B)为示出通过图案化保护膜而形成喷嘴的状态的截面图，图6的(C)为示出在保护膜上形成疏墨膜的状态的截面图。

图7是示出第一实施方式的喷墨头的一部分的截面图。

图8是示出第二实施方式的喷墨头的一部分的纵截面图。

具体实施方式