[发明专利]电镀铜用高填平酸铜光亮剂有效
申请号: | 201710146980.X | 申请日: | 2017-03-13 |
公开(公告)号: | CN106609385B | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
发明(设计)人: | 施佳抄 | 申请(专利权)人: | 广州睿邦新材料科技有限公司 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38 |
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地址: | 511400 广东省广州市番禺大道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀铜 填平 光亮剂 | ||
1.电镀铜用高填平酸铜光亮剂,其特征在于,以重量份计,其至少含有染料化合物7-8份、聚二硫二丙烷磺酸钠3.4-3.6份、四硫代对苯二甲酸盐4.2-4.4份、1,4-丁炔二醇1.8-2份、硫代吗啉5.6-5.8份、四氢呋喃12-15份、水85-88份;
所述染料化合物为噻嗪染料;
所述四硫代对苯二甲酸盐为四硫代对苯二甲酸铵盐。
2.如权利要求1所述的电镀铜用高填平酸铜光亮剂,其特征在于,以重量份计,其至少含有染料化合物7.4份、聚二硫二丙烷磺酸钠3.6份、四硫代对苯二甲酸盐4.2份、1,4-丁炔二醇2份、硫代吗啉5.8份、四氢呋喃15份、水85份。
3.如权利要求1所述的电镀铜用高填平酸铜光亮剂,其特征在于,所述四硫代对苯二甲酸盐为四硫代对苯二甲酸四丁基铵盐。
4.一种电镀铜用电镀液,其特征在于,包含如权利要求1-3中任一项权利要求所述的电镀铜用高填平酸铜光亮剂。
5.如权利要求4所述的电镀铜用电镀液,其特征在于,其组成包括硫酸铜180-220g/L、硫酸30-45mL/L、氯离子80-150mg/L、电镀铜用高填平酸铜光亮剂4-6mL/L。
6.如权利要求4所述的电镀铜用电镀液,其特征在于,其组成包括硫酸铜190g/L、硫酸32mL/L、氯离子115mg/L、电镀铜用高填平酸铜光亮剂4.8mL/L。
7.如权利要求4所述的电镀铜用电镀液,其特征在于,其使用时的温度为15-40℃。
8.如权利要求4所述的电镀铜用电镀液,其特征在于,其使用时的电流密度为1-6A/dm3。
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