[发明专利]一种拉丝模具内孔制备金刚石涂层的装置

权利要求书

1.一种拉丝模内孔制备金刚石涂层的装置，所述装置包括真空腔室，以及设置在真空腔室内的样品台、热丝和多个具有模孔的拉丝模具，其特征在于，所述样品台包括相对设置的第一端和第二端，所述拉丝模具间隔卡设在所述样品台的第一端上，所述样品台的第二端设有通孔，所述拉丝模具的模孔与所述通孔相连通；所述样品台的上方水平设置有热丝，所述热丝的两端分别连接电极柱；

所述装置还设有导流器，以及插入所述真空腔室内的进气管和排气管，所述排气管的出口与一泵相连；所述导流器包括腔体，所述导流器具有相对设置的第一端和第二端，所述第二端大于所述第一端的径向尺寸；所述第一端连接有与所述腔体连通的进气管，所述第二端上设有多个与所述腔体连通的分流管；所述分流管的出口位于所述模孔的正上方。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述分流管的出口与所述拉丝模具的模孔共轴线。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括匀气罩，所述匀气罩位于所述样品台的通孔的下方；所述匀气罩包括罩体，所述匀气罩具有相对设置的第一端和第二端，所述匀气罩的第一端连接有与所述罩体相连通的所述排气管。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述匀气罩的第一端的径向尺寸小于或等于所述第二端的径向尺寸。

5.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述匀气罩的第二端上设有多个匀气支管，所述匀气支管部分伸入所述样品台的通孔内。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述样品台的第一端上设有与拉丝模具的外形匹配的凹槽，所述凹槽与所述通孔同轴。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述热丝的一端固定在一电极柱上，所述热丝的另一端绕接到另一电极柱后与一砝码连接，所述砝码通过一支撑板进行支撑，所述支撑板通过钼螺钉固定在所述另一电极柱上。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述样品台由相对设置的两根支撑柱进行支撑，所述支撑柱还用于对样品台的高度进行调节。

9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述热丝距所述分流管的高度为45-65mm。

10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述热丝距所述拉丝模具的高度为8-15mm。