[发明专利]光谱共焦检测装置

权利要求书

1.一种光谱共焦检测装置，其特征在于，包括：

检测平台，用于安装被测物体；

光谱共焦位移传感器，用于检测被测物体的位置或者形状；

若干个直线电机位移平台，所述直线电机位移平台的动子上设置有所述检测平台或所述光谱共焦位移传感器；

控制系统，用于控制所述光谱共焦位移传感器和所述直线电机位移平台；

机架，用于安装所述检测平台、所述光谱共焦位移传感器、所述直线电机位移平台和所述控制系统。

2.根据权利要求1所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述机架包括底座，所述直线电机位移平台的定子安装在所述底座上，所述检测平台位于所述底座的上表面，所述底座上设置有悬臂，所述光谱共焦位移传感器安装在所述悬臂上。

3.根据权利要求2所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述悬臂上设置有能够沿预设方向伸缩的伸缩装置，所述光谱共焦位移传感器安装在所述伸缩装置上。

4.根据权利要求3所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述伸缩装置的伸缩方向垂直于所述检测平台的工作平面。

5.根据权利要求2-4中任一项所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述悬臂设置在所述直线电机位移平台的动子上。

6.根据权利要求5所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述直线电机位移平台包括第一移动装置、第二移动装置和第三移动装置，所述第一移动装置和所述第二移动装置的定子分别固定在所述底座上表面的两侧，所述第一移动装置的动子和所述第二移动装置的动子的移动方向平行，所述第三移动装置的定子的两端分别固定连接所述第一移动装置和所述第二移动装置的动子，所述悬臂固定在所述第三移动装置的动子上，且所述第三移动装置的动子的移动方向垂直于所述第一移动装置的动子的移动方向和所述第二移动装置的动子的移动方向。

7.根据权利要求6所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述第一移动装置、所述第二移动装置和所述第三移动装置均为直线电机，且所述第一移动装置、所述第二移动装置和所述第三移动装置的动子的移动方向均平行于所述检测平台的工作平面。

8.根据权利要求2-4中任一项所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述检测平台设置在所述直线电机位移平台的动子上。

9.根据权利要求8所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述直线电机位移平台和所述检测平台为叠加在一起的三层平台，所述三层平台的底层作为所述直线电机位移平台的定子安装在所述底座上，所述三层平台的中间层与所述底层滑动连接，所述检测平台作为顶层与所述中间层滑动连接，所述中间层和所述检测平台均由直线电机驱动。

10.根据权利要求7或9所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述直线电机位移平台中设置有光栅尺。