[发明专利]一种深孔镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201710150317.7 申请日: 2017-03-14
公开(公告)号: CN106835090B 公开(公告)日: 2018-12-28
发明(设计)人: 袁明清;束学遂 申请(专利权)人: 北京中纺精业机电设备有限公司
主分类号: C23C22/00 分类号: C23C22/00
代理公司: 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 代理人: 王明霞
地址: 101100 北京市通州*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 装置
【说明书】:

发明涉及一种深孔镀膜装置,包括本体,所述本体内具有进液腔和回液腔,所述进液腔设有向其内部添加液体的注液管,所述回液腔设有将其内部液体导出的回液管;一端与进液腔连接,用于将进液腔内的液体注入到深孔内的细长管;所述回液腔的底部还设有与所述深孔相连通的回液口,以回收注入深孔内的液体。本发明在使用时,可以保证化学镀膜全过程是完全密封的,没有化学液的渗漏,既能保持化学液的配比浓度,提高利用率,又能循环使用,降低损耗,节省成本。

技术领域

本发明涉及镀膜设备,尤其是一种深孔镀膜装置。

背景技术

现有的深孔镀膜装置具有容装化学液的腔室和与腔室连通的细长管,在使用时,先将细长管伸入至深孔中,接着化学液通过泵注入到腔体内,使容腔内的化学液通过细长管注入至深孔中,使化学液与深孔的内壁发生反应,生产一层保护膜。随着化学液的注入,最终化学液将沿着深孔内壁溢出深孔,并直接流入到化学液槽内。这种深孔镀膜装置,虽然简便易行,但是由于是将整个样件直接放入到化学液槽中,会同时带入一些铁屑、防锈油、灰尘等杂质,对化学液的配比浓度有很大的影响,降低化学镀的效果,同时也会将样件深孔以外的其他不需要镀膜部位也进行了化学镀膜操作,加速了化学液的损耗,降低了化学液的利用率,增加了更换新化学液和处理废液的次数,既不环保,又增加了生产成本。

鉴于此提出本发明。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足,提供一种能够减缓化学液的损耗,使化学液能够多次循环使用,最大限度的减少更换次数的深孔镀膜装置。

为了实现该目的,本发明采用如下技术方案:

一种深孔镀膜装置,包括本体,所述本体内具有进液腔和回液腔,所述进液腔设有向其内部添加液体的注液管,所述回液腔设有将其内部液体导出的回液管;一端与进液腔连接,用于将进液腔内的液体注入到深孔内的细长管;所述回液腔的底部还设有与所述深孔相连通的回液口,以回收注入深孔内的液体。

进一步,所述细长管套设在回液口中,且细长管与回液口之间留有间隙,该间隙构成深孔与回液腔连通的通道。

进一步,所述本体包括,腔体圆筒,设置在腔体圆筒上端的腔体上顶盖板,设置在腔体圆筒下端的腔体下底板,以及设置在腔体上顶盖板和腔体下底板之间的腔体内衬板,所述腔体内衬板将腔体圆筒内部分隔为进液腔和回液腔,所述腔体下底板上设有所述回液口。

进一步,所述注液管设置在腔体上顶盖板上,注液管的底部与腔体上顶盖板固定连接,并与进液腔连通;所述回液管设置在腔体内衬板上,回液管的底部与腔体内衬板固定连接,并与回液腔连通,上端穿过腔体上顶盖板,并延伸至一定高度。

进一步,所述本体还包括一中心支撑管,所述腔体上顶盖板、腔体内衬板和腔体下底板的中心分别设有一安装孔,并套设在中心支撑管上,且与中心支撑管固定连接。

进一步,所述腔体内衬板的上表面可拆卸地固定安装有一腔体内压板,所述腔体内压板位于进液腔内,所述细长管的上端穿过腔体下底板和腔体内衬板后与腔体内压板固定连接。

进一步,所述腔体圆筒上端设有腔体外法兰,所述腔体上顶盖板通过螺钉固定安装在腔体外法兰上;所述腔体下底板和腔体内衬板与腔体圆筒焊接连接。

进一步,所述细长管上套设有滑动导向板,且所述滑动导向板设置在回液口与深孔之间,并设有连通回液口与深孔的通孔,所述通孔与回液口与深孔为密封性连接。

进一步,所述细长管贯穿于滑动导向板上的通孔,所述通孔的内径大于细长管的外径,所述滑动导向板上至少与回液口和深孔相接触的表面为橡胶材料。

进一步,所述深孔为多个,所述细长管和回液口的数量与深孔的数量相同,且位置与深孔相对应。

采用本发明所述的技术方案后,带来以下有益效果:

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