[发明专利]一种玻璃基片真空镀膜上下片的方法在审
申请号: | 201710150355.2 | 申请日: | 2017-03-14 |
公开(公告)号: | CN106835049A | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 鲍兆臣;张少波;樊黎虎 | 申请(专利权)人: | 凯盛科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/50 |
代理公司: | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所34113 | 代理人: | 陈俊 |
地址: | 233010 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 玻璃 真空镀膜 下片 方法 | ||
1.一种玻璃基片真空镀膜上下片的方法,其特征在于,包括以下步骤:
a、在基片架底部设置旋转底座,使基片架能够在旋转底座上水平自由旋转;
b、对基片架的正面进行正面玻璃基片的上片操作,然后将基片架在旋转底座上旋转180°,再对基片架的反面进行反面玻璃基片的上片操作;
c、将上片后的基片架送入双面磁控溅射镀膜机进行正反面镀膜;
d、镀完膜的基片架由双面磁控溅射镀膜机出口回转运送到上下片区,对基片架正面的玻璃基片进行下片操作,然后将基片架在旋转底座上旋转180°,再对基片架反面的玻璃基片进行下片操作;
e、重复步骤b~d,实现在真空镀膜工艺中对玻璃基片的上下片。
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