[发明专利]一种化学机械抛光设备

权利要求书

1.一种化学机械抛光设备，包括配料桶(1)和抛光器(10)，所述抛光器(10)通过输送管(8)与配料桶(1)连接，输送管(8)将配料桶(1)内的抛光液输送至抛光器(10)，其特征在于，所述配料桶(1)内设有搅拌装置，搅拌装置包括搅拌轴(11)和固定在搅拌轴(11)上的搅拌叶片(13)，所述搅拌叶片(13)数量为三组，三组搅拌叶片(13)沿搅拌轴(11)的轴向依次固定，其所处的平面都与水平面之间呈一定的夹角，而且上下相邻的两个搅拌叶片(13)之间在其选装平面内错位布置；所述配料桶(1)内还固定有一个竖直状态的中心筒(14)，中心筒(14)的下端固定在配料桶(1)的下表面上，同时所有的搅拌叶片(13)均位于中心筒(14)内；所述中心筒(14)的上端开口，下端的侧面上也开有开口，即中心筒(14)内部的物料与外部的物料是相通的；所述搅拌轴(11)与设于桶盖(2)顶部的电机(4)传动连接；

所述料桶(1)下端设置有排料口，排料口上设有阀门(9)，排料口通过输送管(8)与抛光器(10)连接，所述抛光器(10)包括抛光盘(17)、固定于抛光盘(17)上方的抛光液输送口(19)、位于抛光盘(17)上方的抛光头(16)、以及安装于抛光头(16)下表面的具有曲线轮廓的抛光垫(18)，待抛光的晶片(20)安置在抛光盘(17)上，并随抛光盘(17)旋转，抛光液输出口直接向晶片(20)输送抛光液。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述配料桶(1)底部设置有支架(3)，顶部设置有桶盖(2)。

3.根据权利要求2所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述桶盖(2)上开有投料口。

4.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述抛光头(16)及抛光垫(18)的尺寸不小于晶片(20)的直径。

5.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述抛光头(16)依次连接有压电陶瓷、功率放大器和超声发生器。

6.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述搅拌轴(11)上还固定有搅拌桨(12)，所述搅拌桨(12)为倒置的U型。

7.根据权利要求6所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述搅拌桨(12)的侧边固定有纵向设置的桶壁刮刀(15)，桶壁刮刀(15)的侧面与配料桶(1)内壁的间距为0.2cm。

8.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述电机(4)由四个螺丝垂直固定于桶盖(2)中心的表面。

9.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述料桶(1)的外围设置有冷却水套(5)，所述冷却水套(5)上设置有进水口(6)和出水口(7)。

10.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述配料桶(1)由耐酸碱材料制成，且配料桶(1)表面设置有耐酸碱层。