[发明专利]一种真空紫外波段像增强器光谱响应测试系统

权利要求书

1.一种真空紫外波段像增强器光谱响应测试系统，其特征在于，包括顺次连接的氘灯[1]、能量优化器[2]、滤波片轮[3]、真空紫外单色仪[4]、准直器[5]、斩波器[6]和样品室[7]；

氘灯[1]发出全光谱的光线依次通过能量优化器[2]、滤波片轮[3]、真空紫外单色仪[4]、准直器[5]、斩波器[6]后到达样品室[7]，其中能量优化器[2]对入射光线光进行光学优化，滤波片轮[3]对入射光线进行滤波以保证光路中没有杂散光,真空紫外单色仪[4]对入射光线进行处理得到单色光，准直器[5]对入射光进行准直处理，斩波器[6]将入射光变成固定频率的交流光信号，样品室[7]内设置像增强器及其夹具；

斩波器[6]工作时为交流测试模式，斩波器[6]发出的光线为交流光信号，对样品进行测量的器件包括依次连接的交流放大电路、锁相放大器、工控机；

斩波器[6]不工作时为直流测试模式，斩波器[6]发出的光线为直流光信号，对样品进行测量的器件为依次连接的直流电流计和工控机。

2.根据权利要求1所述的真空紫外波段像增强器光谱响应测试系统，其特征在于，样品室[7]内还包括用于定标的硅光电池。

3.根据权利要求1所述的真空紫外波段像增强器光谱响应测试系统，其特征在于，样品室[7]内的用于固定像增强器的夹具包括第一样品前面板支撑件[8]、第二样品前面板支撑件[9]、第三样品前面板支撑件[11]、接电环[10]、样品夹紧块[12]、固定加强块[13]、第一连接件[14]、第二连接件[15]、第三连接件[16]、样品夹紧平移台[17]和底板[18]；

所述第一样品前面板支撑件[8]、第三连接件[16]和样品夹紧平移台[17]位于底板[18]上，样品夹紧平移台[17]位于第一样品前面板支撑件[8]和第三连接件[16]之间，第二样品前面板支撑件[9]、第三样品前面板支撑件[11]位于第一样品前面板支撑件[8]上，接电环[10]位于三个样品前面板支撑件之间，用于像增强器通电；样品夹紧平移台[17]上方设置样品夹紧块[12]，其下设置用于提供压力的弹簧；第三连接件[16]上依次设置第二连接件[15]和第一连接件[14]，第一连接件[14]的顶端设置固定加强块[13]，所述固定加强块[13]和连接件用于连接样品室的上部真空腔室。