[发明专利]薄膜应变式扭矩传感器

权利要求书

1.一种薄膜应变式扭矩传感器，包括转接上法兰(1)，转接下法兰(2)，固接在所述转接上法兰(1)与转接下法兰(2)之间的扭柱(3)组成，其特征在于：所述扭柱(3)是左右侧面分别加工有弧形凹槽(31)、上下部分别加工有三角孔(32)、一侧平面上采用溅射薄膜技术制造有包含四个应变敏感电阻(42)的四个薄膜敏感元件(4)的金属柱；将所述四个应变敏感电阻(42)组成惠斯通电桥电路，当所述转接上法兰(1)与转接下法兰(2)扭动时，所述扭柱(3)受到扭力作用并传递到所述应变敏感电阻(42)，所述应变敏感电阻(42)阻值发生变化，惠斯通电桥电路失出平衡，通过测量所述惠斯通电桥电路的输出信号可得到相应的扭矩值大小。

2.如权利要求1所述的薄膜应变式扭矩传感器，其特征在于：所述薄膜敏感元件(4)由绝缘层(41)、应变敏感电阻(42)、焊盘(43)、保护层(44)组成。

3.如权利要求1、2所述的薄膜应变式扭矩传感器，其特征在于：所述应变敏感电阻(42)由镍(Ni)、铬(Cr)、锰(Mn)、钼(Mo)四种元素组成，原子百分比是42％≤Ni≤47％，40％≤Cr≤47％，8.6％≤Mn≤11％，2.9％≤Mo≤4.9％。

4.如权利要求1、2所述的薄膜应变式扭矩传感器，其特征在于：所述扭柱(3)的上部左右二个薄膜敏感元件(4)的图形是镜像对称分布的，上部二个薄膜敏感元件(4)与下部二个薄膜敏感元件(4)的图形是镜像对称分布的。