[发明专利]一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法

权利要求书

1.一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

1)在金属衬底直接生长整齐的氧化锌纳米柱阵列，获得ZnO/h-BN/金属复合结构；所述在金属衬底直接生长整齐的氧化锌纳米柱阵列的具体方法为：将六方氮化硼二维薄膜转移覆盖至金属衬底表面，作为预导向和预成核层，利用氧化锌纳米柱生长方法直接生长纳米柱阵列于金属衬底上；

2)在ZnO/h-BN/金属复合结构上旋涂PDMS透明硅胶填充纳米柱阵列，获得弹性的氧化锌纳米柱阵列薄膜；

3)去除金属衬底，获得埋藏氧化锌纳米柱阵列的透明PDMS薄膜结构；

4)在PDMS/ZnO/h-BN结构的正反两面压印上金属纳米线网络，低温退火获得纳米焊接网络，做透明电极；

5)连接上下两个电极至载体，即完成透明柔性的压电式纳米发电机的制备。

2.如权利要求1所述一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法，其特征在于所述方法包括化学气相外延方法或水热法。

3.如权利要求1所述一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法，其特征在于在步骤1)中，所述金属衬底选自铜、镍、铂、铝、铁、金中的至少一种或合金。

4.如权利要求1所述一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法，其特征在于在步骤2)中，所述在ZnO/h-BN/金属复合结构上旋涂PDMS透明硅胶填充纳米柱阵列的具体方法为：在ZnO/h-BN/金属复合结构上旋涂填充透明硅胶PDMS，再保持纳米柱顶部裸露，加热烘干后得弹性的氧化锌纳米柱阵列薄膜。

5.如权利要求4所述一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法，其特征在于所述透明硅胶PDMS由硅胶弹性基体液和固化剂组成，所述硅胶弹性基体液和固化剂的质量比为10︰(0.2～1)。

6.如权利要求4所述一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法，其特征在于所述加热烘干的温度为50～150℃，加热烘干的时间为0.5h。

7.如权利要求1所述一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法，其特征在于在步骤3)中，所述去除金属衬底的具体方法为：将步骤2)得到的弹性的氧化锌纳米柱阵列薄膜放入化学腐蚀液中溶去金属衬底。

8.如权利要求1所述一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法，其特征在于在步骤4)中，所述金属纳米线选自银纳米线、铜纳米线、金纳米线、铂纳米线、铝纳米线、钯纳米线中的至少一种。

9.如权利要求1所述一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法，其特征在于在步骤4)中，所述低温退火的温度为125℃。