[发明专利]一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法

权利要求书

1.一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)、当面板厂Cu刻蚀液废液排放至储液池时，废液实时处置系统启动；

（2）、系统启动后，将储液池中废液、后储罐中稀释液注入分解罐；

（3）、稀释后废液通过分解罐分解层分解，产生气体经引风机排入面板厂废气管道；分解后废液经H₂O₂在线监测，当H₂O₂监测值低于设计要求时，废液排入冷凝装置进行热交换；当H₂O₂监测值高于设计要求时，废液重新进入分解罐分解；

（4）、废液完成热交换后，在线监测温度：当温度低于设计要求时，废液排入后储罐；同时根据要求，适当提升废液处置量，当温度高于设计要求时，减少废液进液量；

（5）、后储罐中废液达到溢液口，废液排出,进入储罐储存即可。

2.根据权利要求1所述的一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法，其特征在于：当面板厂Cu刻蚀液废液排放至储液池，液位计监测到废液时，系统启动。

3.根据权利要求1所述的一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法，其特征在于，分解罐首次运行需加2m³左右纯水 。

4.根据权利要求1所述的一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法，其特征在于，所述的储液池中废液流量<1v、后储罐中稀释液流量为9-11v。

5.根据权利要求1所述的一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法，其特征在于，步骤（3）中，分解后废液经H₂O₂在线监测，当H₂O₂含量<0.1%时，废液进入冷凝装置热交换；当H₂O₂含量>0.1%时，废液重新进入分解罐分解。

6.根据权利要求1所述的一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法，其特征在于，步骤（4）中，废液完成热交换后，经在线监测温度：温度≤40℃时，废液排入后储罐；温度>40℃时，则以0.18-22倍循环体积为一次减量的体积，数次逐渐减少储液池原废液进液量；如果H₂O₂浓度<100ppm，且温度<40℃时，则以0.18-22倍循环体积为一次减量的体积逐渐增量，以提升废液处置量。

7.根据权利要求6所述的一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法，其特征在于，温度>40℃时，则以0.18-22倍循环体积为一次减量的体积，数次逐渐减少储液池原废液进液量，直至0 m³。

8.根据权利要求1所述的一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法，其特征在于，利用处置后不含H₂O₂废液作为高H₂O₂浓度原废液稀释液，处置时按比例循环稀释至低浓度后安全处置。