[发明专利]晶棒切片方法

权利要求书

1.一种晶棒切片方法，按以下步骤进行：

粘棒：将晶托(1)水平放置在粘棒平台上，然后在晶托(1)上涂覆一层环氧树脂胶后将垫板(2)粘结，接着在垫板(2)上涂覆一层环氧树脂胶后将晶棒(3)粘结在垫板(2)上，最后在晶棒(3)上放置重量为20-30kg的配重进行加压，加压时间为30-50min使环氧树脂胶固化，从而晶棒、垫板和晶托之间粘结牢固；

装料：将载有晶棒(3)的晶托(1)固定在金刚线切片机的切割室(4)内的升降台(5)上，所述切割室(4)内平行设置有两个导线轮(6)，两导线轮(6)上缠绕有金刚线，所述升降台(5)上具有沿导线轮(6)轴线方向延伸的定位滑槽(7)，所述晶托(1)上具有适于与所述定位滑槽(7)相配合的定位滑块(8)，所述定位滑块(8)与所述定位滑槽(7)插接配合到位后将定位滑块(8)在定位滑槽(7)内锁定从而完成晶托(1)的固定；

切片：装料步骤完成后，启动金刚线切片机进行切片；

卸料，切片步骤完成后将晶托(1)从升降台(5)上卸下转移至下一工位；

其特征在于：卸料步骤中采用卸料装置卸料，所述卸料装置包括机架(9)和安装在所述机架(9)底部的滚轮，所述机架(9)上设有可上下移动的升降架(10)和驱动所述升降架(10)上下移动的驱动机构，所述升降架(10)上沿水平方向固定有卸料滑轨(11)，所述晶托(1)上设有沿晶托(1)长度方向延伸的轨槽(12)，所述卸料滑轨(11)的截面形状为与所述轨槽(12)截面形状相匹配的倒T形，所述升降架(10)上靠近所述卸料滑轨(11)根部的位置设置有牵引轮(13)，所述牵引轮(13)上固定有牵引绳(14)，所述牵引绳(14)的自由端连接有适于与所述晶托(1)连接的挂钩(15)，所述牵引轮(13)侧部固定有用于转动牵引轮(13)的手摇把手(16)；利用该卸料装置进行卸料时，将该卸料装置移动至金刚线切片机旁，并通过驱动机构将升降架(10)调整到合适的高度使所述卸料滑轨(11)与所述轨槽(12)处于同一高度并对齐后，向前推动卸料装置使卸料滑轨(11)的外端部插入轨槽(12)内，然后将牵引绳(14)上的挂钩(15)与晶托(1)上的挂具挂接同时解除对卸料滑轨(11)的锁定，最后通过转动手摇把手(16)将牵引绳(14)收卷，在此过程中牵引绳(14)拉拽晶托(1)相卸料滑轨(11)上移动，直至晶托(1)完全脱离升降台(5)后停止转动手摇把手(16)，这时晶托(1)被转移到卸料滑轨(11)上。

2.根据权利要求1所述的晶棒切片方法，其特征在于：所述机架(9)底部固定有始终处于所述卸料滑轨(11)下方的砂浆收集盒(17)，所述砂浆收集盒(17)具有朝上开设的敞口。

3.根据权利要求2所述的晶棒切片方法，其特征在于：所述砂浆收集盒(17)内设有吸水材料层。

4.根据权利要求1所述的晶棒切片方法，其特征在于：所述机架(9)的底部设置有导向轮，所述导向轮呈水平设置。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的晶棒切片方法，其特征在于：所述垫板(2)为钢化玻璃板或者树脂板。

6.根据权利要求1或2或3或4所述的晶棒切片方法，其特征在于：所述晶棒(3)的上表面上粘接有沿晶棒(3)长度方向延伸的树脂条(17)，所述树脂条(17)的数量为两条，两条树脂条(17)相平行。