[发明专利]准分子激光发生器和准分子激光退火设备

权利要求书

1.一种准分子激光发生器，包括：依次排列的反射镜、激活介质腔和出射镜，所述激活介质腔具有朝向所述反射镜的第一开口和朝向所述出射镜的第二开口，其特征在于，还包括：

两个更换单元，分别位于所述第一开口和所述反射镜之间以及所述第二开口和所述出射镜之间，每个所述更换单元包括：更换板和驱动元件，所述更换板上设有多个反应窗，所述驱动元件用于驱动更换板上的任一所述反应窗密封对应的开口；

分别位于所述第一开口和所述第二开口处的压力平衡单元，所述压力平衡单元用于调节对应的开口处密封的所述反应窗的第一面和第二面所受的压力，其中所述第一面为所述反应窗朝向对应开口的一面，所述第二面为所述反应窗背离对应开口的一面。

2.如权利要求1所示的准分子激光发生器，其特征在于，还包括：位于所述反应窗和对应的开口之间的密封圈。

3.如权利要求1所述的准分子激光发生器，其特征在于，每个所述压力平衡单元包括：

与所述第二面连通的压力调节腔，所述压力调节腔上设有进气口和排气口；

供气元件，为所述压力调节腔内提供气体；

设置于所述供气元件和所述进气口之间的连通管路上的调节阀；

设置于所述排气口的开关阀。

4.如权利要求3所述的准分子激光发生器，其特征在于，所述供气元件为气囊或气垫。

5.如权利要求4所述的准分子激光发生器，其特征在于，每个压力平衡单元还包括：

用于在设定时间间隔内检测所述第一面所受压力值的传感器；

与所述传感器、所述开关阀以及所述调节阀信号连接的控制器，所述控制器根据所述传感器检测的所述压力值调节所述调节阀的开度和所述开关阀的开、合以使所述第一面和所述第二面所受的压力相等。

6.如权利要求5所述的准分子激光发生器，其特征在于，所述控制器与所述驱动元件连接，所述控制器用于当所述第一面和所述第二面所受的压力相等时，控制所述驱动元件工作以驱动所述更换板移动直至新的所述反应窗密封对应的开口，并控制所述开关阀开启。

7.如权利要求6所述的准分子激光发生器，其特征在于，所述驱动元件包括：

驱动电机；

一端与所述更换板连接、另一端与所述驱动电机的输出轴传动连接的传动杆。

8.如权利要求1～7任一项所述的准分子激光发生器，其特征在于，所述更换板为圆形，且圆形的所述更换板沿其周向设有多个所述反应窗。

9.如权利要求1～7任一项所述的准分子激光发生器，其特征在于，所述更换板为矩形，且矩形的所述更换板上设有多个阵列分布的所述反应窗。

10.一种准分子激光退火设备，其特征在于，包括：如权利要求1～9任一项所述的准分子激光发生器。