[发明专利]一种采用化学抛光液和陶瓷抛光盘的氮化铝基片抛光方法有效
申请号: | 201710160779.7 | 申请日: | 2017-03-17 |
公开(公告)号: | CN106956212B | 公开(公告)日: | 2018-12-04 |
发明(设计)人: | 周兆忠;柯宇;冯凯萍;倪成员;郁炜;尹涛;许庆华 | 申请(专利权)人: | 衢州学院 |
主分类号: | B24B37/10 | 分类号: | B24B37/10;B24B37/04;B24B37/005;B24B37/015;B24D18/00;C09G1/02 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 郑海峰 |
地址: | 324000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 采用 化学抛光 陶瓷 抛光 氮化 铝基片 方法 | ||
【说明书】:
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