[发明专利]将目标从基板转移系统转移至光刻系统的装置和方法

权利要求书

1.一种用于将目标从基板转移系统转移至光刻系统的真空室的装置，所述目标包括基板或基板支承结构，所述基板被夹箝在基板上，所述装置包括：

负载锁定室，所述负载锁定室用于将所述目标转移至所述光刻系统的所述真空室内和所述光刻系统的所述真空室外，所述负载锁定室包括第一壁和第二壁，所述第一壁中具有第一通道，所述第一通道提供机器人空间和所述负载锁定室内部之间的接入，所述第二壁中具有第二通道，所述第二通道提供所述负载锁定室的内部和所述光刻系统的所述真空室之间的接入；和

多个操纵机器人，所述多个操纵机器人用于转移所述目标,

其中所述多个操纵机器人包括：

第一操纵机器人，所述第一操纵机器人可在所述机器人空间内移动，以接入所述基板转移系统和所述负载锁定室的所述第一通道；和

第二操纵机器人，所述第二操纵机器人可在所述负载锁定室内移动，以接入所述负载锁定室的所述第一通道和所述负载锁定室的所述第二通道，所述负载锁定室的所述第二通道用于接入所述光刻系统的所述真空室。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述第一操纵机器人的可移动主体适于在所述机器人空间内进行可控制的竖直移动，以接入所述基板转移系统和所述负载锁定室的所述第一通道。

3.如权利要求2所述的装置，其中所述基板转移系统被布置成将所述目标供应至所述负载锁定室的所述第一通道的位置上方的位置处。

4.如权利要求1所述的装置，其中所述第二操纵机器人的可移动主体适于在所述负载锁定室内进行可控制的水平移动，以接入所述负载锁定室的所述第一通道和所述光刻系统的所述真空室的所述第二通道。

5.如权利要求4所述的装置，其中所述第二操纵机器人的所述可移动主体还适于在所述负载锁定室内进行可控制器的竖直移动。

6.如权利要求1所述的装置，还包括可在所述负载锁定室内移动的第三操纵机器人，以接入所述负载锁定室的所述第一通道和所述光刻系统的所述真空室的所述第二通道。

7.如权利要求1所述的装置，其中所述负载锁定室的所述第一壁和所述第二壁是被布置成大致成直角的相邻的壁。

8.如权利要求1所述的装置，其中所述操纵机器人中的每一个包括可移动主体，所述可移动主体设置有多个延伸部，所述多个延伸部适于将不受夹箝的基板或者受夹箝的基板运载至支承结构，所述可移动主体可沿竖直和水平的方向可控制地移动。

9.如权利要求1所述的装置，其中所述第二操纵机器人被布置成经由所述负载锁定室的所述第二通道从所述真空室接收经处理的目标，并将所述经处理的目标转移至所述负载锁定室的所述第一通道。

10.如权利要求9所述的装置，其中所述目标是受夹箝的基板。

11.如权利要求1所述的装置，其中所述第二操纵机器人被布置成，在主要沿着所述第一壁和所述第二壁之间的角平分线定向时，例如经由所述第一通道从所述第一操纵机器人接收所述受夹箝的基板。

12.如权利要求11所述的装置，其中所述第二操纵机器人包括设置在机器人臂上的主体，其中所述主体设置有至少两个指部，所述至少两个指部用于运载基板支承结构，所述基板被夹箝在所述基板支承结构上，并且其中所述第二操纵机器人被布置成，在所述主体的所述指部主要沿着所述第一壁和所述第二壁之间的角平分线定向时，例如经由所述第一通道从所述第一操纵机器人接收所述受夹箝的基板。

13.如权利要求12所述的装置，其中所述指部具有拱形的形状。

14.如权利要求12所述的装置，其中所述第二操纵机器人包括：

用于所述机器人臂的基座，所述基座沿轨道可移动地布置，其中所述轨道被定向成基本竖直的方向；和

段部，所述段部连接至所述基座并且所述基座使所述机器人臂能够平移和转动所述基板支承结构，所述基板被夹箝在所述基板支撑结构上处于二维平面中。

15.如权利要求14所述的装置，其中所述第二操纵机器人包括相对于所述基座铰接的所述臂，以及相对于所述臂铰接的所述主体。

16.如权利要求15所述的装置，其中所述第二操纵机器人包括可竖直移动的或否则处于固定方式的所述基座。