[发明专利]一种抽高真空的方法

权利要求书

1.一种抽高真空的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、将被抽产品安装在抽真空机组上，对被抽产品进行抽低真空，使得真空度达到0～10pa，再对被抽产品进行内、外加热；

步骤二、对被抽产品充入温度为70～130℃的高纯热氮气，对充入氮气后的被抽产品进行内、外表面及夹层加热至130～180℃，充分热透，进行第一次闷气；

步骤三、第一次预抽低真空：对被抽产品进行排气，使得被抽产品真空度达到0～10pa，排气时间为70～130min；

步骤四、按照步骤二充入温度为70～130℃的高纯热氮气，对充入氮气后的被抽产品进行内、外表面及夹层加热至130～180℃，充分热透，进行第二次闷气，闷气时间为40～70min；

步骤五、对被抽产品进行第二次预抽低真空排气，排气时间为40min～80min；

步骤六、按照步骤二充入温度为70～130℃的高纯热氮气，按照步骤四的方法进行第三次闷气，并按照步骤五排气；

步骤七、按照步骤二充入温度为70～130℃的高纯热氮气，按照步骤四的方法进行第四次闷气，闷气时间为3～6小时，并按照步骤五排气，排气时间100～150min；

步骤八、对被抽真空产品用高真空泵抽高真空，在抽真空时间为4～6小时后，当抽真空机组的主管路末端热态的真空度P＜5Pa时，开始6～9次间断抽真空，达到所需的高真空；间断抽真空方法：第一次、第二次抽高真空，采用停抽6～9h，抽气2～7h循环；第3次、第4次停抽6～12h，抽3～6h循环;第5次停抽11～15h，再抽2～6h;

第6次停抽14～24h，再抽2～6h，开始第一次测量静置前被抽产品真空度；

第7次停抽14～24h，完成后开始第一次测量静置后被抽产品极限真空度，完成后继续抽空5～8h，开始第二次测量静置前被抽产品真空度；

第8次停抽14～24h，开始第二次测量静置后被抽产品极限真空度；

根据测量值，计算出热态时的漏放气速率，连续两次计算值应≤5×10^-5Pa·m³/S，其中静态被抽产品极限真空度P1＇应≤5Pa，再静置14～24h后测量出夹层的真空度P2＇；

若前两次漏放气速率的测量计算值大于5×10^-5Pa·m³/S时，则进行第三次检量计算，其中对最差的一件产品，要求热态下的漏放气速率应＜9×10^-5Pa·m³/S，其中静态瞬间极限真空度P1＇应≤5Pa，同时要求相邻两次漏放气速率的差值△Q≤2×10^-5Pa·m³/S，再抽高真空2～5h后，停止内、外加热并快速降温，至内、外表面温度低于80℃后，最后抽高真空2～3h后逐一间断压下各台被抽产品的封结阀芯对被抽产品进行封结。

2.根据权利要求1所述的抽高真空的方法，其特征在于，在步骤一中抽低真空后，进行氦质谱检漏，捡漏合格后，再对被抽产品进行内、外加热；在步骤二中，充入高纯热氮气在8～15min内完成，在充气过程中，当被抽产品内的压强略大于外界压强时，停止充气。

3.根据权利要求1所述的抽高真空的方法，其特征在于，在步骤二中第一次闷气时间为12～18h。

4.根据权利要求1所述的抽高真空的方法，其特征在于，在步骤七排气结束后，可按高真空泵的工作条件，提前1h开启高真空泵，备用。

5.根据权利要求1所述的抽高真空的方法，其特征在于，在步骤八对被抽真空产品抽真空前，先使得与被抽真空产品连接的主管末端的真空度小于10pa，再开启高真空泵。

6.根据权利要求1所述的抽高真空的方法，其特征在于，若通过测量及计算，被抽产品的极限真空度和夹层漏放气速率没能达到检量计算的要求，应继续对该机组上的所有被抽产品再抽高真空3h；并再静置14～24h后再次测量和计算漏放气速率，直到测量和计算结果达到检量计算的要求后，才能对产品进行封结。