[发明专利]一种面向半导体工艺设备的故障诊断方法

权利要求书

1.一种面向半导体工艺设备的故障诊断方法，其特征在于，包括模糊规则库和推理机，工作流程如下：

1)针对半导体工艺设备实时监测参数进行模糊化处理，生成模糊事实；

2)建立模糊规则库；

3)采用rete算法将模糊事实与模糊规则库中的规则进行匹配，得到模糊推理结果；

4)将模糊推理结果进行去模糊化得出故障诊断结果；

5)根据故障诊断结果和实际反馈结果构建样本集，基于样本集进行规则强度自学习修正。

2.根据权利要求1所述的面向半导体工艺设备的故障诊断方法，其特征在于，所述针对半导体工艺设备实时监测参数进行模糊化处理，是采用采用高斯隶属度函数法，通过以下公式实现：

${\mathrm{\μ}}_A\left(x\right)=e^{-\frac{{(x-\mathrm{\μ})}^2}{2{\mathrm{\σ}}^2}}---\left(1\right)$

上式为自变量x对于半导体工艺设备监测参数模糊集A的高斯隶属度函数，μ为设备监测参数的均值参数，σ为设备监测参数的方差参数。

3.根据权利要求1所述的面向半导体工艺设备的故障诊断方法，其特征在于，所述采用rete算法将模糊事实与模糊规则库中的规则进行匹配包括以下步骤：

步骤1：构建rete模糊模式：[PF]表示模糊规则前件元素，P为参数名称，F为模糊量词，则P和F均为测试域，将P和F相互连接，便构成了rete模糊模式；

步骤2：构建rete连接网络：连接网将模糊规则中具有“and”关系的rete模糊模式作为一个集合，实现对模糊规则前件的构建，每个连接网设置一个reteflag标识来记录该连接网是否匹配成功，如果匹配成功，则reteflag为true；反之，则为false；

步骤3：rete网络匹配：将模糊事实与rete模糊模式的测试域进行匹配，并将匹配成功的模糊事实存储到对应的α寄存器中，然后再根据α寄存器的更新情况进行reteflag的更新，将reteflag为true的模糊规则的结论作为模糊推理结果。

4.根据权利要求3所述的面向半导体工艺设备的故障诊断方法，其特征在于，所述将模糊事实与rete模糊模式的测试域进行匹配，并将匹配成功的模糊事实存储到对应的α寄存器中，然后再根据α寄存器的更新情况进行reteflag的更新包括以下步骤：

以参数名称测试域为rete模糊模式网络的入口节点，开始进行rete模糊模式网络匹配：

如果参数名称测试域匹配成功，则顺着匹配链寻找下面的模糊量词测试域节点，继续进行匹配；

如果全部匹配成功，将对应模糊事实存储到α寄存器中；

当rete模糊模式网络匹配过程完成后，便开始连接网络匹配：

当某个模糊模式的α寄存器被更新后，遍历对应连接网络的所有模式的α寄存器，并判断所有模式是否匹配成功；如果该连接网络对应的所有模式全部匹配成功，则将reteflag更新为true，将对应模糊规则的结论作为模糊推理结果；如果该连接网络对应的所有模式未全部匹配成功，则将reteflag更新为false。