[发明专利]一种磁控管配套用冷阴极及冷阴极头的生产方法

权利要求书

1.一种磁控管配套用冷阴极，包括上、下屏蔽帽，电源连接杆及冷阴极头，其特征在于冷阴极头为石墨烯或/和碳纳米管、氧化锌纳米线与由Mg、Al、Cu组成的金属混合粉混合、压坯、烧结，制成的整体式柱齿形冷阴极头，上、下屏蔽帽分别与冷阴极头的上、下端面紧固成一体，电源连接杆的上端则与下屏蔽帽紧固连接；而冷阴极头在与磁控管配套装配时整个柱齿形冷阴极头的凸齿及齿槽则分别正对相应的阳极腔并通过电源连接杆与磁控管的输入端陶瓷筒密封固定。

2.按权利要求1所述磁控管配套用冷阴极，其特征在于所述柱齿形冷阴极头，其齿形为扇形齿、梯形齿或三角形齿；当采用梯形齿时，梯形齿两腰面的倾斜角为55°-65°；而当采用三角形齿时，其齿顶角为50°-70°。

3.按权利要求1所述冷阴极中的冷阴极头的生产方法，包括：

步骤1.备料：将占冷阴极头原料总重量8-12wt％的石墨烯或/和碳纳米管、氧化锌纳米线，及占原料总重量88-92wt％的由Mg、Al、Cu粉末配制成的金属混合粉分别称量待用；

步骤2.球磨混合：将步骤1称量待用的两组粉料置于球磨机内，球磨混合90-180分钟至均匀，得原料混合粉；

步骤3.压坯：将步骤2所得原料混合粉置于模具内，在30MPa-80MPa的压力下直接压制成柱齿形或压制成圆柱形坯体；

步骤4.成型：将步骤3压制成型的坯体置于真空炉内，在600-700℃的温度及惰性气体环境下烧结60-120分钟，随炉冷却后即得本发明所述柱齿形冷阴极头或圆柱形烧结体；当为圆柱形烧结体时，再将其加工成所需的柱齿形冷阴极头。

4.按权利要求3所述冷阴极头的生产方法，其特征在于步骤1中所述由Mg、Al、Cu粉末配制成的金属混合粉，该混合粉中三种金属的比例为Mg∶Al∶Cu＝1∶1∶1。

5.按权利要求3所述冷阴极头的生产方法，其特征在于步骤2中所述球磨混合，当采用微小型高能球磨机时，其球料比为1:1-3。

6.按权利要求3所述冷阴极头的生产方法，其特征在于步骤4中所述加工成所需的柱齿形冷阴极头，其加工方式为铣削或磨削加工。