[发明专利]一种低沸点物质汽化装置

说明书

本发明提供一种低沸点物质汽化装置，包括柜体，设置在柜体下部的进液口以及柜体上部的出气口，设置在柜体内部的蒸发器和气体流量控制器，所述柜体内设置有加热板，所述加热板将柜体分隔为上腔室和下腔室，所述下腔室的容积大于所述上腔室的容积，所述加热板为水平设置，且加热板上下表面的放热量相同，该汽化装置完全取消蒸发器内冷却水系统，在汽化装置内布置一逐级提升的温度场，进而杜绝低沸点气态物质发生液化现象，保障流量输出稳定。

技术领域

本发明涉及一种蒸发调控装置，尤其是低沸点物质蒸发调控装置。

背景技术

在电子、半导体、光通讯、太阳能、石英生产行业中，需要对SiCl₄(沸点57.6℃)、GeCl₄(沸点84℃)等低沸点物质进行精确并稳定的流量控制，能达到精确并稳定控制的装置目前都是使用气态的流量控制器，因此就必须对这些物质进行汽化，然后进行流量控制，蒸发主要通过对蒸发器加热的方式。这些低沸点物质汽化后，在气态的输送过程中，需要保证顺着流向末端的温度大于或等于前端的温度，如果末端温度低于前端温度，则就会产生液化现象，最终导致流量控制不稳定，继而流量控制器损坏无法控制的现象。

目前低沸点物质蒸发调控用蒸发器、阀门、过滤器、流量控制器等装置配件皆安装在一个恒温箱内，为保障蒸发器处于较低温度，则蒸发器内设计冷却盘管，内部通入冷却水以达到降温的目的。

现有技术为蒸发器内部冷却，外部加热的方式，能耗比较大，同时蒸发器内部温度稳定性不足，导致压力波动大，影响输出流量。蒸发器内部冷却水系统容易出现问题，当冷却水系统故障时，流量控制器流量的变化，蒸发器内温度就会过高，进而导致后端气态物质液化，流量控制则失效。

发明内容

本发明的目的是为了完全取消蒸发器内冷却水系统，在汽化装置内布置一逐级提升的温度场，进而杜绝低沸点气态物质发生液化现象，保障流量输出稳定。

本发明提供一种低沸点物质汽化装置，包括柜体，设置在柜体下部的进液口以及柜体上部的出气口，设置在柜体内部的蒸发器和气体流量控制器，所述柜体内设置有加热板，所述加热板将柜体分隔为上腔室和下腔室，所述下腔室的容积大于所述上腔室的容积，所述加热板为水平设置，且加热板上下表面的放热量相同。

所述蒸发器设置在下腔体中，蒸发器底部设有进料口，顶部设有出料口，进料口通过输液管与进液口连接，出料口通过输气管穿过加热板进入上腔室中，输气管在上腔室中与所述出气口连接，所述气体流量控制器设置在输气管的接近出气口处。

下腔室靠加热板进行加热，维持内部温度。加热板位于下腔室上部，下腔室内温度分布是由下至上逐渐升高，越靠近加热装置区域温度越高。上腔室也是靠加热板进行加热，但是上腔室整个腔体容积要比下腔室小，同时高温气体往上升，这样就能保证上腔室温度大于下腔室温度。

气体物质由蒸发器顶部出来后，通过输送管输送至上腔室，在下腔室的输送过程中，随着高度的提高，周围温度逐渐升高，避免了气态物质在管路中的液化。然后气态物质经过流量控制器调控流量输送出设备。

进一步的，所述输气管在下腔室的部分为倾斜设置，与水平夹角小于等于45°，所述输气管在上腔室的部分为水平设置。

进一步的，所述输气管在下腔室的部分与水平夹角小于等于5°。

倾斜输送管采用倾斜提升的设计，能够保证倾斜管温度逐渐提升，防止内部气态物质液化的目的。同时能够有效保障当加热板意外损坏时，管路温度降低，气态物质液化，从倾斜管倒流回蒸发器内，不会进入气态流量控制器中，防止气态流量控制器损坏。

进一步的，所述蒸发器的加热装置设置在蒸发器的外表面。提高了蒸发器内部温度的稳定性。

进一步的，所述输液管上从进液口到进料口依次设有进液手动阀、进液过滤器、进液计量阀、预加热器及进液气动阀。