[发明专利]一种用于狭缝喷嘴的排废液槽及狭缝喷嘴清洗装置有效
申请号: | 201710166852.1 | 申请日: | 2017-03-20 |
公开(公告)号: | CN106824680B | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 应俊;徐海涛;彭亮亮;齐发;章全胜;韩路 | 申请(专利权)人: | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/10;B05B15/55 |
代理公司: | 11274 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人: | 申健 |
地址: | 230012 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 狭缝 喷嘴 废液 清洗 装置 | ||
本发明公开了一种用于狭缝喷嘴的排废液槽及狭缝喷嘴清洗装置,涉及狭缝喷嘴技术领域,为解决现有排废液槽因胶液容易在凹槽底面残留而导致排废液槽的排液效果不好的问题。该排废液槽包括本体,所述本体的上表面开设有凹槽,所述凹槽的底部设置有排废液通道,所述凹槽的侧面包括至少一个倾斜面,所述倾斜面的底端相对于所述倾斜面的顶端向远离所述本体相应外侧面的方向倾斜,并与所述排废液通道连接,所述倾斜面为平面或弧面。本发明用于排除狭缝喷嘴内残余的胶液。
技术领域
本发明涉及狭缝喷嘴技术领域,尤其涉及一种用于狭缝喷嘴的排废液槽及狭缝喷嘴清洗装置。
背景技术
在显示面板的生产过程中,会用到狭缝喷嘴(Slit Nozzle)来为基板涂胶,由于有些胶液(例如光刻胶)容易干燥固化,因此会在狭缝喷嘴的狭缝内及外侧面上结块,进而造成涂胶不均、SIJI MURA(一种专有名词,意为在涂胶后宏观检测时发现平行于基板长边的一条亮线)等不良现象发生,因此需要对狭缝喷嘴进行定期清洁。
清洁时,首先要将狭缝喷嘴内残余的胶液排出至排废液槽中,现有技术中的排废液槽如图1所示,包括本体01,本体01的上表面开设有凹槽02,凹槽02的底面为平面,且连接有排废液通道03,残余胶液进入凹槽02内,即可通过排废液通道03排出。
然而,由于该凹槽02的底面为平面,因此胶液容易在凹槽02的底面残留,导致排废液槽的排液效果不好。
发明内容
本发明的实施例提供一种用于狭缝喷嘴的排废液槽及狭缝喷嘴清洗装置,可解决现有排废液槽因胶液容易在凹槽底面残留而导致排废液槽的排液效果不好的问题。
为达到上述目的,本发明的实施例采用如下技术方案:
本发明实施例提供了一种用于狭缝喷嘴的排废液槽,包括本体,所述本体的上表面开设有凹槽,所述凹槽的底部设置有排废液通道,所述凹槽的侧面包括至少一个倾斜面,所述倾斜面的底端相对于所述倾斜面的顶端向远离所述本体相应外侧面的方向倾斜,并与所述排废液通道连接,所述倾斜面为平面或弧面。
进一步的,所述凹槽的开口为长方形开口,沿所述长方形开口的两个长边延伸的所述凹槽的侧面均为所述倾斜面,两个所述倾斜面相对于所述排废液通道中心线所在的竖直面对称设置,且两个所述倾斜面之间的夹角大于或等于45°。
进一步的,所述本体内开设有贯通所述倾斜面的吹气通道。
进一步的,所述本体的上表面设有第一隔垫件,所述第一隔垫件用于防止狭缝喷嘴与所述本体的上表面接触,所述第一隔垫件围绕于所述凹槽的开口周围。
本发明实施例还提供了一种狭缝喷嘴清洗装置,包括上述任一技术方案中的排废液槽,还包括清洗剂容纳槽和超声波发生器,所述清洗剂容纳槽的底部设有超声波换能器,所述超声波换能器与所述超声波发生器连接。
进一步的,所述清洗剂容纳槽的侧壁上设有进液口,底壁上设有出液口。
进一步的,所述清洗剂容纳槽的上表面设有第二隔垫件,所述第二隔垫件用于防止狭缝喷嘴与所述清洗剂容纳槽的上表面接触,所述第二隔垫件围绕于所述清洗剂容纳槽的开口周围。
进一步的,所述清洗剂容纳槽的侧壁上由上至下依次设有第一液位检测器和第二液位检测器;所述第一液位检测器用于检测清洗剂的液面是否到达第一液面高度,当清洗剂的液面到达所述第一液面高度时,所述第一液位检测器发出提示信号;所述第二液位检测器用于检测清洗剂的液面是否到达第二液面高度,当清洗剂的液面低于所述第二液面高度时,所述第二液位检测器发出提示信号。
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