[发明专利]一种平面内多晶织构的测量方法

权利要求书

1.一种平面内多晶织构的测量方法，其特征在于，包括：

采用X射线管发出X射线，所述X射线为线焦斑；

使用Sollar狭缝限制X射线在线焦斑长度方向的发散，并使用发散狭缝控制所述X射线在垂直于线焦斑方向的发散；

使呈线焦斑的X射线照射到待测产品上，并使用X射线探测器接收待测产品衍射的X射线，采用Bragg Brentano 聚焦衍射几何光路且带接收侧Sollar狭缝，再由所述X射线探测器接收；

所述X射线管发出的X射线与经待测产品衍射后的X射线构成衍射面，所述X射线衍射面的法向与待测产品平面的法向的夹角Kai根据平面内织构的测量要求，设置为15-75度范围的某一个特定的角度；

控制所述X射线管与所述X射线探测器对待测样品进行Phi扫描，并由X射线探测器记录接收到的待测产品衍射的X射线的强度，根据待测产品衍射的X射线的强度的变化得出待测产品的平面内多晶织构。

2.如权利要求1所述的平面内多晶织构的测量方法，其特征在于，所述待测产品为带材或板材；所述待测产品以连续或步进的方式经过检测点。

3.如权利要求2所述的平面内多晶织构的测量方法，其特征在于，所述带材为高温超导带材或其中一部分为高温超导带材，或为轧制的金属带；所述板材为镀膜的平板玻璃，或为轧制的金属板，或为光伏板。

4.如权利要求1所述的平面内多晶织构的测量方法，其特征在于，所述由X射线探测器记录接收到的待测产品衍射的X射线的强度后，还对所述Phi扫描的测量结果进行校正。

5.如权利要求4所述的平面内多晶织构的测量方法，其特征在于，对所述测量结果进行校正的方法为：

选择多个已知测量结果的标样，利用权利要求1所述的方法对标样进行测量；

将测量的结果与标样已知的测量结果进行比较，得到校正曲线；

根据所述校正曲线对待测产品的测量结果进行校正。

6.如权利要求1所述的平面内多晶织构的测量方法，其特征在于，所述X射线管功率大于1000瓦。

7.如权利要求1所述的平面内多晶织构的测量方法，其特征在于，所述进行Phi扫描时，所述X射线管的θ角范围设定为-5°～60°；所述X射线探测器θ角范围设定为-10°～90°，角度误差小于0.005°，角度置位重现性小于0.01°。

8.如权利要求1所述的平面内多晶织构的测量方法，其特征在于，通过更换所述发散狭缝上的发散狭缝插片调整所述X射线在垂直于线焦斑方向的发散角度，所述发散狭缝插片的发散角度为1/6°、1/2°、1°、2°可选；通过更换所述接收狭缝上的接收狭缝插片调整聚焦后的线焦斑状的X射线的宽度，所述接收狭缝插片的尺寸为0.08mm、0.15mm、0.3mm、0.6mm可选。