[发明专利]蒸发源和蒸镀设备

说明书

本发明涉及显示装置制备技术领域，公开了一种蒸发源和蒸镀设备，用以提高蒸发效率和显示装置的显示效果。蒸发源，包括：第一壳体，第一壳体内设有用于容纳坩埚的中空部，第一壳体包括至少两个第一本体，相邻两个第一本体之间可拆卸连接，且第一壳体上设有多个喷嘴。本发明提供的蒸发源，通过将用于容纳坩埚的第一壳体设置为可拆卸的，能够便于对第一壳体的内部进行清洗，可以提高蒸发源的使用寿命，提高蒸发源的蒸发效率，以提高显示装置的显示效果。

技术领域

本发明涉及显示器制备技术领域，尤其涉及一种蒸发源和蒸镀设备。

背景技术

真空蒸镀是指在高真空环境下对镀膜材料进行加热，使其升华并在基板上成膜。主要用于有机半导体器件如有机发光二极管中的有机功能层的制作。现在蒸镀设备主要分为内嵌式和环绕式。内嵌式设备又称为线性设备，基板在蒸镀腔中进行传送，蒸发源沿基板传送方向排列。如图1和图2所示，线性蒸发源01多为长方体结构，内部放置坩埚02，加热丝置于蒸发源两侧腔壁内，对内部坩埚进行加热。蒸发源在两端为坩埚的进出口，用于放置取出坩埚，蒸发源加热时开口处用隔热层和盲板封住。为了防止热量泄漏，蒸发源除了坩埚进出口，其他位置均为密封设计，无法拆卸。

但是，在有机材料蒸发过程中，会有一部分有机材料从坩埚内泄漏，所以蒸发源在使用一段时间后，内部就会存在杂质，需要对蒸发源内部进行清理甚至是全面清洗。封闭式线性蒸发由于不可拆卸，且长度比较长，清理非常不方便。

发明内容

本发明提供了一种蒸发源和蒸镀设备，用以提高蒸发效率和显示装置的显示效果。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

本发明提供了一种蒸发源，包括：

第一壳体，所述第一壳体内设有用于容纳坩埚的中空部，所述第一壳体包括至少两个第一本体，相邻两个所述第一本体之间可拆卸连接，且所述第一壳体上设有多个喷嘴。

本发明提供的蒸发源，通过将用于容纳坩埚的第一壳体设置为可拆卸的，能够便于对第一壳体的内部进行清洗，可以提高蒸发源的使用寿命，提高蒸发源的蒸发效率，以提高显示装置的显示效果。

在一些可选的实施方式中，上述蒸发源，还包括：包裹于所述第一壳体外的第二壳体，所述第二壳体包括至少两个第二本体，相邻两个所述第二本体之间可拆卸连接，且所述第二壳体上设有与所述喷嘴一一对应且允许对应的所述喷嘴伸出的喷口。第二壳体的设置，有利于减少热量的散失，起到对第一壳体保温的作用。

在一些可选的实施方式中，任意相邻两个所述第二本体的连接处在所述第一壳体上的投影与任意相邻两个所述第一本体的连接处不重合。这样的结构设置，可以减少热量从连接处散失现象的发生。

在一些可选的实施方式中，所述第一本体的个数为四个；和/或，

所述第二本体的个数为四个。

在一些可选的实施方式中，所述第一壳体为圆柱形；和/或，所述第二壳体为圆柱形。圆柱形的蒸发源便于坩埚均匀受热。

在一些可选的实施方式中，每个所述第一本体内均设有加热单元和用于冷却所述第一本体的冷却单元。

在一些可选的实施方式中，上述蒸发源，还包括：

与所述第一本体一一对应设置的开关，所述开关用于控制对应的第一本体内的加热单元开启和关闭。便于控制每个第一本体的温度。

在一些可选的实施方式中，任意相邻两个所述第一本体之间通过卡口和卡扣相互连接；和/或，

任意相邻两个所述第二本体之间通过卡口和卡扣相互连接、且所述相互连接处还设有紧固螺钉，所述紧固螺钉仅将相连两个所述第二本体相互锁紧或所述紧固螺钉将相连的所述第二本体以及相连的所述第一本体均锁紧。