[发明专利]低温泵

说明书

本发明提供一种低温泵，其课题在于提高低温泵的吸留极限。本发明的低温泵具备：制冷机，其具备第1冷却台、具有前端台面的第2冷却台及沿轴向从第1冷却台朝向第2冷却台延伸的制冷机结构部；放射屏蔽件，其与第1冷却台热连接，放射屏蔽件具备屏蔽件前端及屏蔽件底部，屏蔽件前端确定屏蔽件主开口，屏蔽件底部具有制冷机插穿孔，制冷机插穿孔以使前端台面朝向屏蔽件主开口的方式接受制冷机结构部；帽部件，其不与前端台面接触地包围前端台面，并且帽部件与第1冷却台热连接；及二级低温板，其在轴向上配设于帽部件与第1冷却台之间，并且所述二级低温板与第2冷却台热连接。

本申请主张基于2016年3月29日于日本申请的日本专利申请第2016-066196号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种低温泵。

背景技术

低温泵是通过冷凝或吸附将气体捕捉于冷却至超低温的低温板的真空泵。由此，低温泵对安装有该低温板的真空腔室进行排气。

低温泵通常具备冷却至某一温度的第1低温板及冷却至比该某一温度更低的温度的第2低温板。第1低温板包括放射屏蔽件。随着低温泵的使用，气体的冷凝层在第2低温板上成长。冷凝层有可能会与放射屏蔽件或第1低温板的某一部分接触。如此一来，气体会在该接触部位再次气化，会导致低温泵内部的压力上升。之后，低温泵就无法充分发挥对真空腔室进行排气这一原来的作用。因此，在冷凝层与第1低温板接触时的气体吸留量就是低温泵的吸留极限。

专利文献1：日本专利第4430042号公报

发明内容

本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于提高低温泵的吸留极限。

根据本发明的一种实施方式，低温泵具备：制冷机，其具备高温冷却台、具有轴向前端台面的低温冷却台及沿轴向从所述高温冷却台朝向所述低温冷却台延伸的制冷机结构部；放射屏蔽件，其与所述高温冷却台热连接，所述放射屏蔽件具备屏蔽件前端及屏蔽件底部，所述屏蔽件前端确定屏蔽件主开口，所述屏蔽件底部具有制冷机插穿孔，所述制冷机插穿孔以使所述轴向前端台面朝向所述屏蔽件主开口的方式接受所述制冷机结构部；非接触帽部件，其不与所述轴向前端台面接触地包围所述轴向前端台面，并且所述非接触帽部件与所述高温冷却台热连接；及低温低温板部，其在轴向上配设于所述帽部件与所述高温冷却台之间，并且所述低温低温板部与所述低温冷却台热连接。

另外，本发明的构成要件或表现在方法、装置、系统等之间的互相置换也作为本发明的实施方式而有效。

根据本发明，能够提高低温泵的吸留极限。

附图说明

图1是示意地表示第1实施方式所涉及的低温泵的俯视图。

图2是示意地表示图1所示的低温泵的A-A线截面的图。

图3是示意地表示第1实施方式所涉及的低温板安装部件的立体图。

图4是示意地表示第1实施方式所涉及的顶部低温板的俯视图。

图5是示意地表示某一低温泵的运行中的状态的图。

图6是示意地表示第1实施方式所涉及的低温泵的运行中的状态的图。

图7是示意地表示第2实施方式所涉及的低温泵的俯视图。

图8是示意地表示图7所示的低温泵的B-B线截面的图。