[发明专利]图像传感器及其形成方法、工作方法

权利要求书

1.一种图像传感器，其特征在于，包括：

衬底，所述衬底包括相对的第一面和第二面，所述衬底包括感光区和连接区，所述感光区衬底中具有感光元件；

位于所述感光区衬底第一面上的缓冲层；

位于所述缓冲层上的金属网格，所述金属网格包括多条交错连接的金属线，所述金属线围成凹槽，所述金属网格用于连接工作电位；

位于所述金属网格的凹槽中的颜色过滤器；

所述衬底中还具有载流子采集器；当所述载流子采集器用于捕获所述感光元件产生的电子时，所述工作电位为零电位或负电位。

2.如权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，还包括：位于所述衬底上的连接结构，所述连接结构包括位于所述连接区衬底上的焊盘，以及连接所述焊盘与所述金属网格的连接线。

3.如权利要求2所述的图像传感器，其特征在于，所述感光区衬底还包括透光区和遮光区；

还包括：位于所述衬底第二面的器件层，所述连接区的器件层中具有金属层以及连接所述金属层的插塞；

位于所述遮光区衬底第一面和连接区衬底第一面上的介质结构，所述遮光区介质结构中具有第一开口，所述第一开口底部暴露出所述金属网格，所述连接区介质结构和连接区衬底中具有第二开口，所述第二开口自所述连接区介质结构贯穿至所述连接区衬底，所述第二开口暴露出所述器件层，所述第二开口底部的器件层中具有第三开口，所述第三开口底部暴露出连接区金属层；

所述焊盘位于所述第二开口底部的器件层上；

所述连接线位于所述介质结构上、所述第一开口、第二开口和第三开口底部和侧壁表面，且所述连接线与所述焊盘连接。

4.如权利要求3所述的图像传感器，其特征在于，所述介质结构的材料为氧化硅或氮氧化硅。

5.如权利要求3所述的图像传感器，其特征在于，所述第二开口侧壁与所述衬底第一面的锐角夹角小于50度，所述第二开口底部宽度大于50μm。

6.如权利要求3所述的图像传感器，其特征在于，还包括位于所述遮光区和连接区衬底上的介质结构，所述介质结构暴露出所述金属网格顶部表面；所述焊盘位于所述连接区介质结构上，所述连接线位于所述金属网格表面以及所述介质结构上。

7.如权利要求2所述的图像传感器，其特征在于，还包括：位于所述连接线上的钝化层，所述钝化层暴露出所述焊盘。

8.如权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，还包括：位于所述感光区衬底与所述缓冲层之间的抗反射层，所述抗反射层带负电。

9.如权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述衬底中还具有载流子采集器；当所述载流子采集器用于捕获所述感光元件产生的空穴时，所述工作电位为零电位或正电位。

10.如权利要求9所述的图像传感器，其特征在于，还包括：位于所述感光区衬底与所述缓冲层之间的抗反射层，所述抗反射层带正电。

11.一种图像传感器的形成方法，其特征在于，包括：

提供衬底，所述衬底包括相对的第一面和第二面，所述衬底包括感光区和连接区，所述衬底感光区中具有感光元件；

在所述感光区衬底第一面上形成缓冲层；

在所述缓冲层上形成金属网格，所述金属网格包括多条交错连接的金属线，所述金属线围成凹槽，所述金属网格用于连接工作电位；

在所述金属网格中形成颜色过滤器；

所述衬底中还具有载流子采集器；当所述载流子采集器用于捕获所述感光元件产生的电子时，所述工作电位为零电位或负电位。