[发明专利]基于双CCD的自动对焦显微镜及测量方法

权利要求书

1.一种基于双CCD的自动对焦显微镜，包括光路部分、电路部分，清空的样品平面，其特征在于：所述光路部分由激光光源、物镜、分光镜BS1、分光镜BS2组成，激光光束通过狭缝进入光筒中，由分光镜BS1反射向下经物镜到达样品平面，样品反射光束经原路返回到分光镜BS1透过向上到达分光镜BS2后分成二路，一路透过向上被CCD2接收，另一路反射后经反射镜折返向上被CCD1接收；所述电路部分由CCD1、CCD2、计算机、控制箱和步进电机构成，CCD1和CCD2沿垂直光轴方向前后错开放置，分别接收完整光束信号，并且CCD1和CCD2具有重叠接收区域，CCD1和CCD2接收光信号后由光电转换器转换成电信号，并传输到计算机，计算机将指令信号发送到控制箱，控制箱控制步进电机带动光路部分上下移动寻找最佳对焦位置。

2.一种采用权利要求1所述的基于双CCD的自动对焦显微镜的测量方法，其特征在于，具体步骤如下：

1)打开电源，清空样品平面后，将基于双CCD的自动对焦显微镜调整到默认的初始状态；

2)在样品平面上放置待测样品，激光光源发出的测试光通过光路部分将样品图片经CCD1和CCD2传输到计算机；

3)计算机经过波形对比得出对焦位置的评价，并将评价参数转化为信号指令发送到控制箱；

4)控制箱根据指令信号控制步进电机带动光路部分上下快速移动找到对焦最佳位置。

3.根据权利要求2所述的测量方法，其特征在于：所述CCD1和CCD2在重复区域采集到的图像信息一幅用作标定，另一幅用作增补，使基于双CCD的自动对焦显微镜在寻焦时速度提高一倍，以及在对焦完成时通过算法将图像分割拼接得到清晰度更高的最终图像。