[发明专利]一种多光谱混合波合束光源与曝光机在审
| 申请号： | 201710174525.0 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN107065448A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 林国栋;张松岭;黄明明 | 申请（专利权）人： | 深圳市海目星激光科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/10 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人： | 唐致明 |
| 地址： | 518110 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光谱 混合 波合束 光源 曝光 | ||
【权利要求书】：
1.一种多光谱混合波合束光源，其特征在于，包括第一光源、第二光源与光源合束镜，所述光源合束镜设于所述第一光源与第二光源所射出的光束的相交处，其可对所述第一光源射出的第一光束进行折射，以及对所述第二光源射出的第二光束进行反射，所述第二光束经反射后沿所述第一光束前进的方向射出，以与所述第一光束形成混合光束。
2.根据权利要求1所述的多光谱混合波合束光源，其特征在于，所述第一光束的波长为345nm-405nm。
3.根据权利要求2所述的多光谱混合波合束光源，其特征在于，所述第一光源的波长为355nm。
4.根据权利要求1所述的多光谱混合波合束光源，其特征在于，所述第二光束的波长为305nm-340nm。
5.根据权利要求4所述的多光谱混合波合束光源，其特征在于，所述第二光束的波长为325nm。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的多光谱混合波合束光源，其特征在于，所述第一光源与第二光源均包括集光镜与LED芯片，多个所述LED芯片所射出的光束经过对应所述集光镜后平行射出。
7.根据权利要求6所述的多光谱混合波合束光源，其特征在于，所述第一光束与第二光束正交，所述光源合束镜与所述第一光束、第二光束之间的夹角均为45°。
8.一种曝光机，其特征在于，包括权利要求1至7中任一项所述的多光谱混合波合束光源。
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